研磨装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1080167C

    公开(公告)日:2002-03-06

    申请号:CN93115329.8

    申请日:1993-11-13

    CPC classification number: B24D7/10

    Abstract: 研磨抛光装置有一托板,通常呈可转动的抛光头10形式,和安装于托板之上的研磨抛光垫16。每个抛光垫16包括一研磨体18,它由充满超硬研磨颗粒的垫塑性聚合物制成且有一个研磨表面,在使用中起研磨抛光作用,研磨体18设置了规则排列的孔,通常为窄的毛细管通道,伸至研磨表面。该孔在研磨操作中改善了研磨层的冷却。

    研磨装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1091073A

    公开(公告)日:1994-08-24

    申请号:CN93115329.8

    申请日:1993-11-13

    CPC classification number: B24D7/10

    Abstract: 研磨抛光装置有一托板,通常呈可转动的抛光头10形式,和安装于托板之上的研磨抛光垫16。每个抛光垫16包括一研磨体18,它由充满超硬研磨颗粒的垫塑性聚合物制成且有一个研磨表面,在使用中起研磨抛光作用,研磨体18设置了规则排列的孔,通常为窄的毛细管通道,伸至研磨表面。该孔在研磨操作中改善了研磨层的冷却。

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