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公开(公告)号:CN114008910B
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202080045143.8
申请日:2020-06-17
申请人: 弗莱堡大学
摘要: 本发明涉及压电致动器以及涉及微流体设备,诸如微型阀或微型泵。压电致动器(100)包括可挠曲的致动器膜(102)以及至少一个压电元件(104A,104B),至少一个压电元件可操作用于根据施加到压电元件的电场进行膨胀和收缩运动(106),其中,压电元件附接到致动器膜的一部分,以用于对膜施加机械力。根据本发明,压电元件使膜的中心区域敞开并且具有与致动器膜的轮廓不一致的外围轮廓。
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公开(公告)号:CN114008910A
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202080045143.8
申请日:2020-06-17
申请人: 弗莱堡大学
摘要: 本发明涉及压电致动器以及涉及微流体设备,诸如微型阀或微型泵。压电致动器(100)包括可挠曲的致动器膜(102)以及至少一个压电元件(104A,104B),至少一个压电元件可操作用于根据施加到压电元件的电场进行膨胀和收缩运动(106),其中,压电元件附接到致动器膜的一部分,以用于对膜施加机械力。根据本发明,压电元件使膜的中心区域敞开并且具有与致动器膜的轮廓不一致的外围轮廓。
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