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公开(公告)号:CN113272633A
公开(公告)日:2021-08-17
申请号:CN201980088409.4
申请日:2019-11-13
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G01J4/00 , G01N21/23 , G01N21/896 , G01N21/958
Abstract: 公开了用于评估玻璃基基板的双折射缺陷的系统和方法。在一个实施例中,方法包括生成该至少一个玻璃基基板的图像,并且确定至少一个透射曲线,其中该透射曲线绘制了透射值相对于沿该至少一个线的位置的关系。该方法进一步包括从该至少一个透射曲线来确定缺陷度量。该方法还包括将该缺陷度量与至少一个标准进行比较。
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