在阳极粘结中使用的粘结板机构

    公开(公告)号:CN101438619A

    公开(公告)日:2009-05-20

    申请号:CN200780013753.4

    申请日:2007-04-16

    CPC classification number: H01L21/67092 H01L21/67121 H01L21/68 H01L21/76254

    Abstract: 一种用于将第一和第二材料片阳极粘结在一起的粘结板装置,该装置包括:基座,所述基座包括间隔开的第一和第二表面;绝热器,所述绝热器由所述基座的第二表面支承,并且可操作地阻止热量转移到所述基座;加热盘,所述加热盘直接或间接地联接于绝热器,并可操作地根据电力产生热量;以及传热器,所述传热器直接或间接地联接于加热盘,并可操作地至少将热量从加热盘引导到所述第一材料片上,并且在所述第一材料片上施加电压;其中,施加到所述第一材料片上的热量和电压是根据各自的加热和电压分布图,以有助于所述第一和第二材料片的阳极粘结;粘结板机构的热惯性相对较低,从而所述第一材料片在少于半小时的时间内被加热到约600℃或更高的温度。

    精密玻璃辊成形方法和设备

    公开(公告)号:CN103608305B

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201280026688.X

    申请日:2012-05-30

    CPC classification number: C03B13/16 C03B13/04 C03B17/064 Y02P40/57

    Abstract: 用于精密玻璃辊成形的方法和设备包括用于对温度大于或等于1000℃的熔融玻璃供给流进行供给的玻璃进料装置。一对位于所述玻璃进料装置的垂直下方的热成形辊,它的表面温度大于或等于约500℃或者大于或等于约600℃,所述热成形辊接收供给的熔融玻璃流并将所述供给的熔融玻璃流成形为成形的玻璃带,所述成形的玻璃带的厚度接近所需厚度。一对位于所述成形辊的垂直下方的冷尺寸设定辊,它的表面温度小于或等于约400℃或者小于或等于约300℃或者小于或等于约200℃,所述冷尺寸设定辊接收形成的玻璃带,并使得形成的熔融玻璃带变薄,以产生具有所需厚度和厚度均匀性的经过尺寸设定的玻璃带。所述经过尺寸设定的玻璃带的厚度变化不超过+/-0.025mm。通过尺寸设定辊产生的经尺寸设定的玻璃带的厚度小于或等于1mm,或者小于或等于0.8mm,或者小于或等于0.75mm。

    精密玻璃辊成形方法和设备

    公开(公告)号:CN103608305A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201280026688.X

    申请日:2012-05-30

    CPC classification number: C03B13/16 C03B13/04 C03B17/064 Y02P40/57

    Abstract: 用于精密玻璃辊成形的方法和设备包括用于对温度大于或等于1000℃的熔融玻璃供给流进行供给的玻璃进料装置。一对位于所述玻璃进料装置的垂直下方的热成形辊,它的表面温度大于或等于约500℃或者大于或等于约600℃,所述热成形辊接收供给的熔融玻璃流并将所述供给的熔融玻璃流成形为成形的玻璃带,所述成形的玻璃带的厚度接近所需厚度。一对位于所述成形辊的垂直下方的冷尺寸设定辊,它的表面温度小于或等于约400℃或者小于或等于约300℃或者小于或等于约200℃,所述冷尺寸设定辊接收形成的玻璃带,并使得形成的熔融玻璃带变薄,以产生具有所需厚度和厚度均匀性的经过尺寸设定的玻璃带。所述经过尺寸设定的玻璃带的厚度变化不超过+/-0.025mm。通过尺寸设定辊产生的经尺寸设定的玻璃带的厚度小于或等于1mm,或者小于或等于0.8mm,或者小于或等于0.75mm。

    高温阳极键合装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101495311A

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200780014259.X

    申请日:2007-04-18

    CPC classification number: H01L21/67092 H01L21/67121 H01L21/68 H01L21/76254

    Abstract: 一种阳极键合装置,包括:第一键合板机构,其可操作以与第一片材配合并对其提供受控加热、电压和冷却中的至少一种;第二键合板机构,其可操作以与第二片材配合并对其提供受控加热、电压和冷却中的至少一种;压力机构,其可操作地联接到第一和第二键合板机构并可操作以将第一和第二键合板机构朝向彼此推压以实现第一和第二片材沿其相应表面抵靠彼此的受控压力;控制单元,其可操作以对第一和第二键合板机构以及压力机构产生控制信号以提供足以实现第一片材和所述第二片材之间阳极键合的加热、电压、压力曲线。

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