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1.

发明授权
带有挠曲轴的显微镜载物台失效转让

公开(公告)号：CN101142509B

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：CN200680008413.8

申请日：2006-04-07

申请人： 应用精密公司

发明人： 史蒂文·C·卡雷 , 约翰·马尔科姆

IPC分类号： G02B21/26

CPC分类号： G02B21/26 , Y10T442/2418

摘要： 一种带有挠曲轴的显微镜载物台，可展示出可预测的挠曲特性和有限交叉耦合平移。接近于Z执行器的Z平台的Z运动可基本上为线性，同时该Z平台的执行器相对侧可被允许绕连接有挠曲部件的铰链轴旋转。该显微镜载物台包括设置为基本上与光轴垂直的平台(120)；可操作地与所述平台的一侧相连接的执行器(130)，并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述一侧；以及可操作地与所述平台的执行器相对侧相连接的挠曲部件(160)，并且操作为允许所述平台绕铰链轴(170)旋转。