公开(公告)号：CN101861653A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200980101026.2

申请日：2009-01-23

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： 德卢夫·格加里亚 ,  李志勇 ,  格沛拉克里西那·B·普拉布 ,  雅科夫·埃尔格 ,  约翰·维斯塔西恩 ,  刘勇 ,  杰弗里·S·沙利文 ,  萨尔瓦多·尤默托伊 ,  泰·T·恩高 ,  迈克尔·马里奥特 ,  彼得·克伦德维尔 ,  维内·沙 ,  霍·基恩·乔伊 ,  丹尼斯·C·皮尔斯

IPC分类号： H01L31/00 ,  B24D9/00

CPC分类号： B24B9/10 ,  B24B49/045 ,  B24B55/02 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L31/186 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明总体涉及一种设置在自动化太阳能电池生产线中的清边模块。该清边模块可包括砂轮设备，用于从太阳能电池器件的多个边缘区除去材料，以及在除去材料之后清洁太阳能电池器件的边缘区。该清边模块还可包括摩擦元件，在该摩擦元件朝向砂轮设备周期性地横向前进时，摩擦元件的一部分被磨掉。提供了用于控制模块的各种面的操作和功能的控制器。