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公开(公告)号：CN103109396A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201080069172.4
申请日：2010-12-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01M4/04 , H01M10/0525 , H01G9/04
Abstract: 提供了用于形成薄膜电池电化学层的方法和装置。包括电化学活性金属的液体前驱物混合物与氧反应以形成电化学活性金属氧化物，该电化学活性金属氧化物在基板上淀积为一层。可添加碳至混合物以控制对反应的能量输入且在沉积在基板上的晶体之间提供附着和导电性。前驱物到沉积晶体的转换看在两阶段工艺中完成。
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