公开(公告)号：CN104350440B

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201380030188.8

申请日：2013-05-20

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·O·克拉克 ,  优瑟夫·A·罗勒迪 ,  肖恩·W·克劳福德 ,  马克西米·凯耶尔 ,  托尼·H·唐 ,  埃里克·里斯克

IPC分类号： G05B23/02 ,  G05B19/418

CPC分类号： G05B15/02 ,  G05B23/0291 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/86

摘要： 本文提供用于控制制造设备的方法与装置。在一些实施方式中，制造系统可包含具有一或多个输入端的集成控制器以接收输入值，输入值对应于工艺工具、质量流量控制器或至少一个附属制造厂辅助系统中至少之一的操作信息，其中集成控制器被配置以接收输入值、根据所接收的输入值判定匹配了错误条件且响应所判定的错误条件而控制至少一个附属制造厂辅助系统，以使至少一个附属制造厂辅助系统在故障安全操作模式中操作。

公开(公告)号：CN104350440A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201380030188.8

申请日：2013-05-20

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·O·克拉克 ,  优瑟夫·A·罗勒迪 ,  肖恩·W·克劳福德 ,  马克西米·凯耶尔 ,  托尼·H·唐 ,  埃里克·里斯克

IPC分类号： G05B23/02 ,  G05B19/418

CPC分类号： G05B15/02 ,  G05B23/0291 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/86

摘要： 本文提供用于控制制造设备的方法与装置。在一些实施方式中，制造系统可包含具有一或多个输入端的集成控制器以接收输入值，输入值对应于工艺工具、质量流量控制器或至少一个附属制造厂辅助系统中至少之一的操作信息，其中集成控制器被配置以接收输入值、根据所接收的输入值判定匹配了错误条件且响应所判定的错误条件而控制至少一个附属制造厂辅助系统，以使至少一个附属制造厂辅助系统在故障安全操作模式中操作。

公开(公告)号：CN101069041B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200580039393.6

申请日：2005-11-12

申请人： 应用材料公司

发明人： 浩文·罗德尼·赵 ,  丹尼尔·O·克拉克 ,  肖恩·W·克劳福德 ,  杰伊·J·荣格 ,  伦纳德·B·托德 ,  罗伯特·韦尔穆伦

IPC分类号： F23G7/06 ,  F23J9/00 ,  F23M5/08

CPC分类号： F23M5/085 ,  F23D2900/00016 ,  F23G7/065 ,  F23J9/00 ,  F23M2900/05002 ,  F23M2900/05004

摘要： 本发明提供当减少不希望的反应产物在处理系统中沉积时，一种用于气态污染物的控制燃烧与分解的系统与方法。典型的系统包含一个新颖的热反应室设计，其具有堆栈的有孔陶瓷环，例如气体的流体可以被导入堆栈的有孔陶瓷环以沿着此热反应室的内壁而形成一边界层，借此减少颗粒物在其上的累积。系统可还包含导入来自中央喷口的流体以改变此热反应室内部的空气动力学。