公开(公告)号：CN105900210A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201480034625.8

申请日：2014-12-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 黄曦 ,  徐文龙

IPC: H01L21/02

CPC classification number: G03F7/40 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4404 ,  C25F3/06 ,  C25F3/14

Abstract: 提供一种用于腔室部件上的纹理化表面的方法，并且所述方法包括：提供腔室部件；将光刻胶层施加至所述腔室部件的表面；使用掩模来将所述光刻胶的一部分暴露于光能，以便固化所述光刻胶的一部分；将未固化的光刻胶从所述表面上移除；和对所述腔室部件进行电化学蚀刻，以在所述腔室部件上形成纹理化表面。

公开(公告)号：CN105900210B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201480034625.8

申请日：2014-12-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 黄曦 ,  徐文龙

IPC: H01L21/02

Abstract: 提供一种用于腔室部件上的纹理化表面的方法，并且所述方法包括：提供腔室部件；将光刻胶层施加至所述腔室部件的表面；使用掩模来将所述光刻胶的一部分暴露于光能，以便固化所述光刻胶的一部分；将未固化的光刻胶从所述表面上移除；和对所述腔室部件进行电化学蚀刻，以在所述腔室部件上形成纹理化表面。