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公开(公告)号:CN117279849A
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202280033282.8
申请日:2022-04-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 简·德尔马斯 , 基兰·瓦查尼 , 安德烈亚斯·G·赫格杜斯 , 苏布拉曼亚·P·赫尔勒
IPC: B65H23/26
Abstract: 本公开内容通常涉及用于运输卷材通过卷材处理设备的系统及方法。在一个方面中,卷材张力调节单元用于引导卷材。卷材张力调节单元包括第一引导辊。第一引导辊包括调节单元。卷材张力调节单元进一步包括被定位为测量卷材在第一位置处的位移数据的一个或多个第一非接触传感器。卷材张力调节单元进一步包括用于基于所测量的位移数据来控制调节单元的系统控制器。