公开(公告)号：CN100557756C

公开(公告)日：2009-11-04

申请号：CN200410078080.9

申请日：2004-09-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 伊藤裕之 ,  松永保彦 ,  塙广二

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/077 ,  H01J37/20 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/077 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/06375

Abstract: 本发明提供一种可喷出低能量电子从而减轻了维护负担的电子喷射装置及具有该电子喷射装置的离子注入装置。本发明的电子喷射装置(1)具有舱室(22)，该舱室(22)沿着规定的闭曲线(Ax)延伸并具有由导体构成的第一部分(22a)和由绝缘体构成的第二部分(22b)。在第一部分(22a)的外侧设置有线圈(18)，从而在与规定的闭曲线(Ax)所形成的面交叉的方向上形成磁场。通过该磁场，线圈(18)与舱室(22)感应耦合。由于惰性气体的等离子体主要通过感应耦合在舱室(22)生成，因此等离子体中的电子具有低能量。这里，向电极(21)施加电压时，舱室(22)内的具有低能量的电子将从开口(14)喷出。

公开(公告)号：CN1599020A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN200410078080.9

申请日：2004-09-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 伊藤裕之 ,  松永保彦 ,  塙广二

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/077 ,  H01J37/20 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/077 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/06375

Abstract: 本发明提供一种可喷出低能量电子从而减轻了维护负担的电子喷射装置及具有该电子喷射装置的离子注入装置。本发明的电子喷射装置(1)具有舱室(22)，该舱室(22)沿着规定的闭曲线(Ax)延伸并具有由导体构成的第一部分(22a)和由绝缘体构成的第二部分(22b)。在第一部分(22a)的外侧设置有线圈(18)，从而在与规定的闭曲线(Ax)所形成的面交叉的方向上形成磁场。通过该磁场，线圈(18)与舱室(22)感应耦合。由于惰性气体的等离子体主要通过感应耦合在舱室(22)生成，因此等离子体中的电子具有低能量。这里，向电极(21)施加电压时，舱室(22)内的具有低能量的电子将从开口(14)喷出。