公开(公告)号：CN113574650B

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN201980093452.X

申请日：2019-03-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 亚历山大·森多布里 ,  乔格·舒勒 ,  马丁·恩斯特 ,  克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 ,  布里塔·斯帕

IPC: H01L21/677 ,  F16F7/104

Abstract: 提供了一种磁悬浮系统，包括：基部结构；载体，所述载体在运输方向上相对于所述基部结构可移动；和至少一个主动磁轴承，所述至少一个主动磁轴承被构造成产生作用在保持方向上的磁保持力，以用于将所述载体保持在所述基部结构处。所述载体和/或所述基部结构包括多个阻尼单元，所述多个阻尼单元中的第一阻尼单元被调谐到第一频率或第一频率范围，并且所述多个阻尼单元中的第二阻尼单元被调谐到第二频率或第二频率范围。

公开(公告)号：CN113574650A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201980093452.X

申请日：2019-03-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 亚历山大·森多布里 ,  乔格·舒勒 ,  马丁·恩斯特 ,  克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 ,  布里塔·斯帕

IPC: H01L21/677 ,  F16F7/104

Abstract: 提供了一种磁悬浮系统，包括：基部结构；载体，所述载体在运输方向上相对于所述基部结构可移动；和至少一个主动磁轴承，所述至少一个主动磁轴承被构造成产生作用在保持方向上的磁保持力，以用于将所述载体保持在所述基部结构处。所述载体和/或所述基部结构包括多个阻尼单元，所述多个阻尼单元中的第一阻尼单元被调谐到第一频率或第一频率范围，并且所述多个阻尼单元中的第二阻尼单元被调谐到第二频率或第二频率范围。