一种带有加热解吸附功能的气敏传感器

    公开(公告)号:CN119534092A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411472990.9

    申请日:2024-10-22

    Abstract: 本发明提出一种带有加热解吸附功能的气敏传感器,自下而上分别为:基板,用于支撑整个气敏传感器且具有高导热性;检测‑加热电极:包括蛇形电极和倒F型电极;所述蛇形电极在倒F型电极附近且沿着倒F型电极设置;所述蛇形电极头部为1号电极,尾部为2号电极;所述倒F型电极头部为3号电极;所述1号电极在气敏传感器正常工作状态下接地;所述检测‑加热电极由导电材料通过溅射或蒸镀工艺制成,既作为检测电极使用,又在需要时作为加热电极进行解吸附;敏感材料涂层,为敏感材料采用旋涂或溅射技术均匀涂盖在检测‑加热电极上,用于检测气体分子的吸附和脱附过程;所述敏感材料为气敏材料。本发明提高检测的频率和传感器的使用寿命。

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