公开(公告)号：CN109788656A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201910104201.9

申请日：2019-02-01

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 谢小柱 ,  李苗妮 ,  龙江游 ,  李俭国

IPC: H05K3/10 ,  H05K1/11 ,  H05K1/02

Abstract: 本发明属于电子信息技术领域，公开了一种在柔性基材上制备2.5D铜电路的方法及其装置。该方法将注射器加压控制滴液CuO NP油墨于基材上；设置旋涂加热器的参数，旋涂得到CuO NP油墨单层涂层，然后加热烘干；设置激光器的参数和振镜运行轨迹进行激光扫描；重复旋涂加热步骤，计算机控制X-Y振镜位置相对于载物台上调12μm，沿原来设定轨迹以同样参数进行激光扫描，即可实现在柔性基材上2.5D铜电路的加工。本发明利使铜电路制造不再局限于2D平面图案，还可以实现厚度方向上的2.5D铜图案制备。无需人工操作和样品转移，实现流水线一步制备铜电路，极大程度缩减了时间人员成本，具有经济效益。

公开(公告)号：CN109788656B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201910104201.9

申请日：2019-02-01

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 谢小柱 ,  李苗妮 ,  龙江游 ,  李俭国

IPC: H05K3/10 ,  H05K1/11 ,  H05K1/02

Abstract: 本发明属于电子信息技术领域，公开了一种在柔性基材上制备2.5D铜电路的方法及其装置。该方法将注射器加压控制滴液CuO NP油墨于基材上；设置旋涂加热器的参数，旋涂得到CuO NP油墨单层涂层，然后加热烘干；设置激光器的参数和振镜运行轨迹进行激光扫描；重复旋涂加热步骤，计算机控制X‑Y振镜位置相对于载物台上调12μm，沿原来设定轨迹以同样参数进行激光扫描，即可实现在柔性基材上2.5D铜电路的加工。本发明利使铜电路制造不再局限于2D平面图案，还可以实现厚度方向上的2.5D铜图案制备。无需人工操作和样品转移，实现流水线一步制备铜电路，极大程度缩减了时间人员成本，具有经济效益。

公开(公告)号：CN110708880A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201910860836.1

申请日：2019-09-11

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 谢小柱 ,  周文倩 ,  龙江游 ,  李俭国 ,  李苗妮

IPC: H05K3/18 ,  H05K1/03 ,  C03C17/10

Abstract: 本发明涉及微电子加工的技术领域，更具体地，涉及一种在石英玻璃上制备复杂电路图案的方法，包括：在石英玻璃表面制备吸光层，采用飞秒激光器按照导入的电路图案在石英玻璃表面诱导加工微纳结构，通过化镀的方法在微纳结构沉积金属粒子形成电路图案。本发明在涂敷油墨层的石英玻璃表面诱导粗糙且规则的微纳结构，有效增加化镀金属粒子与微纳结构之间的结合力；通过化学镀方法在沉积金属粒子，金属粒子沉积均匀且均为有效沉积，得到线宽为7μm～9μm的各种复杂电路图案，可以满足不同领域、不同系统在石英玻璃上低损耗通电的需求；整个加工过程简便高效，化学镀过程能够实现批量制造，能够很好地适应工业生产中高效、实惠的需求。