公开(公告)号：CN106471339A

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201580017733.9

申请日：2015-03-31

Applicant: 并木精密宝石株式会社 ,  安达满株式会社 ,  泽田廉士

Inventor： 泽田廉士 ,  竹下俊弘 ,  岩崎拓真 ,  石川正纪 ,  冈本千寻 ,  青柳智英

IPC: G01D5/347 ,  G01D5/38

CPC classification number: G01D5/3473 ,  G01B9/00 ,  G01D5/34715 ,  G01D5/38

Abstract: 本发明提供一种反射式编码器，其能够利用1束出射光对移动量和移动方向的双方进行检测，通过简单的构造实现较高的可靠性且容易实现小型化。反射式编码器使得从激光振荡器射出的出射光入射至设置于标尺侧的反射式衍射光栅，并利用受光部接受从该反射式衍射光栅射出的衍射光，在该反射式编码器中，将干涉光学系统设置于所述受光部-反射式衍射光栅之间，从而能够构建出利用1束出射光就能够对所述标尺的移动量和移动方向的双方进行测定的光学系统。