基于石墨烯大比表面积柔性散热器的制造方法

    公开(公告)号:CN106449565B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201610928039.9

    申请日:2016-10-31

    IPC分类号: H01L23/373

    摘要: 本发明公开了一种基于石墨烯大比表面积柔性散热器的制造方法,包括以下步骤:制备高深宽比微米孔阵列模具;制备高深宽比的柔性微米散热柱阵列;制备顶端带有磁性聚合物微磁头的柔性微米散热柱阵列;制备表面多孔的顶端带有磁性聚合物微磁头的柔性微米散热柱阵列;制备石墨烯大比表面积柔性散热部件;制备基于石墨烯大比表面积柔性散热器。本发明获得的石墨烯大比表面积柔性散热器具有散热方式简单、直接、性能高效可靠,通过磁性叶片风扇转动提供周期变化的磁场,磁场驱动石墨烯多孔柔性微米散热柱阵列旋转以增强热量的排放;同时磁性叶片风扇转动过程中会产生气流,气流进而会加强石墨烯多孔柔性微米散热柱阵列的旋转,进一步实现热量的排放。

    基于石墨烯大比表面积柔性散热器的制造方法

    公开(公告)号:CN106449565A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610928039.9

    申请日:2016-10-31

    IPC分类号: H01L23/373

    CPC分类号: H01L23/3738

    摘要: 本发明公开了一种基于石墨烯大比表面积柔性散热器的制造方法,包括以下步骤:制备高深宽比微米孔阵列模具;制备高深宽比的柔性微米散热柱阵列;制备顶端带有磁性聚合物微磁头的柔性微米散热柱阵列;制备表面多孔的顶端带有磁性聚合物微磁头的柔性微米散热柱阵列;制备石墨烯大比表面积柔性散热部件;制备基于石墨烯大比表面积柔性散热器。本发明获得的石墨烯大比表面积柔性散热器具有散热方式简单、直接、性能高效可靠,通过磁性叶片风扇转动提供周期变化的磁场,磁场驱动石墨烯多孔柔性微米散热柱阵列旋转以增强热量的排放;同时磁性叶片风扇转动过程中会产生气流,气流进而会加强石墨烯多孔柔性微米散热柱阵列的旋转,进一步实现热量的排放。