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实用新型
一种等离子体表面改性装置失效

公开(公告)号：CN202339899U

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201120410957.5

申请日：2011-10-25

Applicant: 常州机电职业技术学院

Inventor： 张波 , 朱葛俊 , 虞文武 , 陆建军 , 陈晓勇 , 沈俊 , 姜清

IPC: H01J37/32 , H01J37/04

Abstract: 本实用新型涉及一种等离子体表面改性装置，尤其涉及一种用于提高透明导电膜玻璃表面湿润性的装置，包括第一封头、第二封头、导电膜玻璃预放区和导电膜玻璃取样区，离子辉光放电区，离子辉光放电区底部的内表面上设一能在装置的轴向作水平移动的导电膜玻璃支架；离子辉光放电区的顶部粘结电极组件固定架；电极组件固定架上的粘结多对由屏蔽金属层、绝缘材料层和放电电极依次粘结而成电极组件。本实用新型解决了透明导电膜玻璃连续性工业化处理等问题，同时也与透明导电膜玻璃生产工艺相兼容，能够减少中间环节，提高生产效率。

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