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公开(公告)号：CN108026431A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680028684.3
申请日：2016-06-02
Applicant: 帝化株式会社
Abstract: 本发明提供一种玻璃及陶瓷研磨用组成物，其对CMP研磨的适用性佳、因研磨材料粒子为均匀的粒度而不会有产生变质或变形的可能、可稳定地发挥更佳的研磨特性、不易产生研磨伤痕而得到表面缺陷少的良好平滑面，并且可适用于酸性范围至碱性范围的范围广的研磨条件。该玻璃及陶瓷研磨用组成物包含研磨材料，其为通过二氧化硅被覆表面的至少一部分的氧化钛粒子。
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