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公开(公告)号：CN109716500B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201780058115.8
申请日：2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息；操作部，其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息；画面显示部，其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面；机器人动作控制部，其按照操作信息，控制机器臂的动作；及教示数据记录部，其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。
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公开(公告)号：CN109564889B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN201780050991.6
申请日：2017-09-21
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B65G49/06 , B65G49/07
Abstract: 具备连结在机器人手臂的手稍端部的基部、与基部结合并保持基板的基板保持部的基板搬送手的诊断系统，具备：固定于基部并拍摄基板保持部的摄影机；取得摄影机拍摄的影像信息，并基于该影像信息诊断基板保持部的健全性的诊断装置。
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公开(公告)号：CN109716500A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780058115.8
申请日：2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息；操作部，其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息；画面显示部，其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面；机器人动作控制部，其按照操作信息，控制机器臂的动作；及教示数据记录部，其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109791908B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201780059358.3
申请日：2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息；动作控制部，其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作；及存储部，其将一致时的手的位置作为教示数据存储。
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公开(公告)号：CN109564889A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780050991.6
申请日：2017-09-21
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B65G49/06 , B65G49/07
Abstract: 具备连结在机器人手臂的手稍端部的基部、与基部结合并保持基板的基板保持部的基板搬送手的诊断系统，具备：固定于基部并拍摄基板保持部的摄影机；取得摄影机拍摄的影像信息，并基于该影像信息诊断基板保持部的健全性的诊断装置。
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公开(公告)号：CN119072777A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202380035850.2
申请日：2023-04-24
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08
Abstract: 本半导体制造装置系统(100)具备包含第一托板支承部(31)和第二托板支承部(32)的基板保持机械手。而且，半导体制造装置系统(100)具备：拍摄部(60)，对包含基板(10)、半导体制造装置的构成要素、和基板保持机械手中的至少一个的检查对象进行拍摄；以及控制部，基于由拍摄部(60)拍摄到的拍摄图像，检测检查对象的状态。拍摄部(60)配置于第二托板支承部(32)。
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公开(公告)号：CN109791908A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059358.3
申请日：2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息；动作控制部，其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作；及存储部，其将一致时的手的位置作为教示数据存储。
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