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实用新型
可防止尾气沉积的分子泵有权

公开(公告)号：CN220227224U

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202321961096.9

申请日：2023-07-25

申请人： 山东世纪安泰真空设备有限公司

发明人： 李永华 , 杨宏芳 , 徐辉 , 唐林 , 冯建军 , 王志强 , 韩玉宾

IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70

摘要： 本实用新型公开了可防止尾气沉积的分子泵，属于真空镀膜技术领域，分子泵本体的一端设有吸气端，吸气端的表面固定套接有腔室壁，腔室壁的侧面固定连接有尾气吸附盒，尾气吸附盒的一侧设置有中间孔，中间孔的内壁连通有若干插槽，尾气吸附盒的表面插接有若干吸附板，吸附板的表面固定连接有吸附框，吸附框的中间位置固定连接有滤网，该可防止尾气沉积的分子泵，通过尾气吸附盒设置的插槽和吸附板，在对沉积镀层进行清理时，无需将整个尾气吸附盒拆下就可以对需要清洁的吸附板进行更换，大大的提高了清洁便利性，并且通过设置的卡槽和卡条，方便各吸附板进行自动定位，方便组装以及后期的单独更换。