公开(公告)号：CN1077827C

公开(公告)日：2002-01-16

申请号：CN98106479.5

申请日：1998-04-10

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 前多宏志 ,  沟下义文 ,  佐藤俊之 ,  今村考浩 ,  公平彻

IPC: B24B37/00

CPC classification number: G11B5/3173 ,  B24B37/00 ,  B24B37/048 ,  G11B5/1871 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/3967

Abstract: 一种紧凑而简单的研磨装置，它具有至少一个研磨夹具，其中工件被放在研磨盘的转动顶表面上。该研磨夹具上安装有一个研磨头，该研磨头装有一个工件和两个虚设工作材料，从而使这些虚设工件与工件一起构成应该被研磨的表面。在工件上提供了用于检测工件剩余部分的装置。该研磨装置的构成使能够通过一个滑动环把从转动的研磨头输出的代表工件剩余部分的检测信号和从控制单元输出的校正信号全都发送到研磨校正装置。

公开(公告)号：CN1207334A

公开(公告)日：1999-02-10

申请号：CN98106479.5

申请日：1998-04-10

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 前多宏志 ,  沟下义文 ,  佐藤俊之 ,  今村考浩 ,  公平彻

IPC: B24B37/00

CPC classification number: G11B5/3173 ,  B24B37/00 ,  B24B37/048 ,  G11B5/1871 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/3967

Abstract: 一种紧凑而简单的研磨装置,它具有至少一个研磨夹具,其中工件被放在研磨盘的转动顶表面上。该研磨夹具上安装有一个研磨头,该研磨头装有一个工件和两个虚设工作材料,从而使这些虚设工件与工件一起构成应该被研磨的表面。在工件上提供了用于检测工件剩余部分的装置。该研磨装置的构成使能够通过一个滑动环把从转动的研磨头输出的代表工件剩余部分的检测信号和从控制单元输出的校正信号全都发送到研磨校正装置。