公开(公告)号：CN101106050A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200610169948.5

申请日：2006-12-25

Applicant: 富士通日立等离子显示器股份有限公司

Inventor： 藤尾俊介 ,  藤永昭弘 ,  金江达利 ,  石塚和德 ,  大矢根博志 ,  柳桥靖男

IPC: H01J9/00

CPC classification number: F27B9/3005 ,  C03B29/08 ,  F27B9/028 ,  F27B9/2469 ,  F27B9/36 ,  H01J9/242

Abstract: 本发明能够防止被加热物的干燥不均匀。本发明的加热处理方法，将各自具有加热器的多个加热室串联连接，贯穿所述多个加热室而从上游向下游搬送被加热物，对每个加热室供给或排出温风，设定各加热室的温风的供气量与排气量之比，使得在向着所述被加热体的温度上升方向上生成气流。

公开(公告)号：CN101211733A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200710301200.0

申请日：2007-12-26

Applicant: 富士通日立等离子显示器股份有限公司

Inventor： 藤尾俊介 ,  吉永隆史

IPC: H01J9/02 ,  H01J9/24 ,  H01J11/02

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J11/12 ,  H01J11/36

Abstract: 本发明说明了一种隔壁形成方法，能够防止在除去抗蚀剂掩模的工序中的隔壁图案材料层的倒塌。在基板和隔壁材料层之间形成粘接层，该粘接层具有粘接力，该粘接力使得在将隔壁图案形成后的抗蚀剂掩模从所述隔壁材料层剥离除去的工序中，能够将所述隔壁材料层维持在基板上，且该粘接层由在烧结隔壁图案形成后的隔壁材料层的工序中会被烧尽的热烧尽性的材料构成。