曝光装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1854886A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200610076560.0

    申请日:2004-03-25

    CPC classification number: G21K1/02

    Abstract: 本发明提供一种曝光装置。在该曝光装置中,把GaN系列蓝色半导体激光器用作光源,其特征在于:构成为在把最接近所述蓝色半导体激光器的活性层的发光面的耦合透镜的孔径数设为NA,把来自所述发光面的光束扩散角度设为α时,满足NA·tan(α/2)≤2.0。

    使用塑料光纤的传输装置

    公开(公告)号:CN1467933A

    公开(公告)日:2004-01-14

    申请号:CN03142404.X

    申请日:2003-06-12

    CPC classification number: H04B10/2581

    Abstract: 一种使用塑料光纤的传输装置,具有塑料光纤(1)、检测在该塑料光纤(1)中传输来的光的光检测器(10),作为光检测器(10),使用了由各感光面积比塑料光纤(1)的中心部分(2)的截面积小,并且感光灵敏度区域彼此相等的多个半导体光敏器件(11)、(12)、(13)、(14)构成的光检测器。在组合塑料光纤和半导体光敏器件而成的传输装置中,同时实现高感光效率和高速响应性。

    使用塑料光纤的传输装置

    公开(公告)号:CN1316768C

    公开(公告)日:2007-05-16

    申请号:CN03142404.X

    申请日:2003-06-12

    CPC classification number: H04B10/2581

    Abstract: 一种使用塑料光纤的传输装置,具有塑料光纤(1)、检测在该塑料光纤(1)中传输来的光的光检测器(10),作为光检测器(10),使用了由各感光面积比塑料光纤(1)的中心部分(2)的截面积小,并且感光灵敏度区域彼此相等的多个半导体光敏器件(11)、(12)、(13)、(14)构成的光检测器。在组合塑料光纤和半导体光敏器件而成的传输装置中,同时实现高感光效率和高速响应性。

    曝光装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100338529C

    公开(公告)日:2007-09-19

    申请号:CN200410008889.4

    申请日:2004-03-25

    CPC classification number: G21K1/02

    Abstract: 本发明提供一种曝光装置。在该曝光装置中,对从激光二极管(LD)的发光点发出的光束通过狭缝进行限制。狭缝把光束限制在与LD的活性层正交的方向,并具有使设有狭缝的板可以在该正交方向移动的移动机构。由于光束和散射光的对物焦点不同,所以为了在发光点的附近,即,在接近光点为最小的点的部位限制光束,仅将散射光有效地遮断,在发光点的附近设置该狭缝板。

    曝光装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1534384A

    公开(公告)日:2004-10-06

    申请号:CN200410008889.4

    申请日:2004-03-25

    CPC classification number: G21K1/02

    Abstract: 本发明提供一种曝光装置。在该曝光装置中,对从激光二极管(LD)的发光点发出的光束通过狭缝进行限制。狭缝把光束限制在与LD的活性层正交的方向,并具有使设有狭缝的板可以在该正交方向移动的移动机构。由于光束和散射光的对物焦点不同,所以为了在发光点的附近,即,在接近光点为最小的点的部位限制光束,仅将散射光有效地遮断,在发光点的附近设置该狭缝板。

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