公开(公告)号：CN102420236B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201110289309.3

申请日：2011-09-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 三井哲朗 ,  藏本有纪

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/335

CPC classification number: H01L51/442 ,  H01L21/02565 ,  H01L27/301 ,  H01L51/4226 ,  Y02E10/549

Abstract: 本发明涉及光电转换元件，固态成像元件，成像设备和用于制造光电转换元件的方法。光电转换元件包括绝缘膜，第一电极，光接收层和第二电极。第一电极在绝缘膜上形成并且由氧氮化钛制成。光接收层在第一电极上形成并且包含有机材料。刚好在形成光接收层之前的第一电极的组成满足以下要求：(1)在整个第一电极中含有的氧的量是钛的量的75原子％以上，或(2)在从第一电极的基板侧至10nm的范围内或在从第一电极的基板侧至第一电极的厚度的2/3的范围内，氧的量是钛的量的40原子％以上。

公开(公告)号：CN102420236A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110289309.3

申请日：2011-09-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 三井哲朗 ,  藏本有纪

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/335

CPC classification number: H01L51/442 ,  H01L21/02565 ,  H01L27/301 ,  H01L51/4226 ,  Y02E10/549

Abstract: 本发明涉及光电转换元件，固态成像元件，成像设备和用于制造光电转换元件的方法。光电转换元件包括绝缘膜，第一电极，光接收层和第二电极。第一电极在绝缘膜上形成并且由氧氮化钛制成。光接收层在第一电极上形成并且包含有机材料。刚好在形成光接收层之前的第一电极的组成满足以下要求：(1)在整个第一电极中含有的氧的量是钛的量的75原子％以上，或(2)在从第一电极的基板侧至10nm的范围内或在从第一电极的基板侧至第一电极的厚度的2/3的范围内，氧的量是钛的量的40原子％以上。