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公开(公告)号：CN118451368A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202280081178.6
申请日：2022-11-30
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明提供一种在形成极微细的图案时的LWR性能及分辨率优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含含有阴离子及具有特定取代基的阳离子的化合物(N)和通过酸的作用分解而极性增大的树脂(A)。
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公开(公告)号：CN113168098A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202080006340.9
申请日：2020-01-08
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明提供一种能够形成缺陷被抑制的图案的感光化射线性或感辐射线性树脂组合物。并且，提供一种使用了上述感光化射线性或感辐射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感辐射线性树脂组合物包含酸分解性树脂以及通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物，上述通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物包含：选自由化合物(I)～化合物(III)组成的组中的1种以上；以及选自由以通式(1)表示的化合物及由通式(2)表示的化合物组成的组中的1种以上。
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公开(公告)号：CN113166312A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202080006761.1
申请日：2020-01-16
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明提供一种能够形成分辨率优异且LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，提供一种使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含树脂以及通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物，其中，由式(1)求出的A值为0.130以上，且通过上述光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物包含选自由化合物(I)～化合物(III)组成的组中的1种以上。
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公开(公告)号：CN103781755A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280043114.3
申请日：2012-09-05
申请人： 富士胶片株式会社
CPC分类号： G02B1/14 , C09K19/3838 , C09K19/50 , C09K2019/0448 , C09K2019/2078 , C09K2219/03 , G02B1/10 , G02B1/105 , G02B1/11 , G02B5/208 , G02B5/3016 , G02B5/3083 , G03H2001/0264 , C09K19/2007 , C08F222/10 , C08F2222/102 , C08J5/18 , C08J2335/02 , C08F2222/1013
摘要： 由通式(I)表示的聚合性液晶化合物可用作对于防止用聚合性液晶(II)或与其类似的聚合性液晶涂布后的晶体沉积有效的添加剂。在式中，P表示聚合性官能团；Sp表示间隔基团或单键；Z1和Z2各自表示-CO-O-；R0表示具有1～15个碳原子的直链烷基；R2、R3和R4各自独立地表示具有1～4个碳原子的烷基、具有1～4个碳原子的烷氧基、具有2～5个碳原子的烷氧基羰基、具有2～5个碳原子的酰氧基、具有2～4个碳原子的酰基、具有2～5个碳原子的酰胺基、氰基、氨基、羟基或卤素原子；r1、r2和r3表示0～4的整数，当r1、r2和r3各自为2以上时，则各R2部分、各R3部分和各R4部分能够分别相同或不同。在此情况中，当R0是甲基时，则r2不是1。
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公开(公告)号：CN113168098B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202080006340.9
申请日：2020-01-08
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明提供一种能够形成缺陷被抑制的图案的感光化射线性或感辐射线性树脂组合物。并且，提供一种使用了上述感光化射线性或感辐射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感辐射线性树脂组合物包含酸分解性树脂以及通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物，上述通过光化射线或辐射线的照射而产生酸的化合物包含：选自由化合物(I)～化合物(III)组成的组中的1种以上；以及选自由以通式(1)表示的化合物及由通式(2)表示的化合物组成的组中的1种以上。
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公开(公告)号：CN113366081A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011046.7
申请日：2020-01-10
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明提供一种长期保存时的保存稳定性优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，提供一种与上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物相关的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含由通式(I)表示的化合物和酸分解性树脂。M1+A‑‑L‑B‑M2+ (I)。
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公开(公告)号：CN103781755B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280043114.3
申请日：2012-09-05
申请人： 富士胶片株式会社
CPC分类号： G02B1/14 , C09K19/3838 , C09K19/50 , C09K2019/0448 , C09K2019/2078 , C09K2219/03 , G02B1/10 , G02B1/105 , G02B1/11 , G02B5/208 , G02B5/3016 , G02B5/3083 , G03H2001/0264
摘要： 由通式(I)表示的聚合性液晶化合物可用作对于防止用聚合性液晶(II)或与其类似的聚合性液晶涂布后的晶体沉积有效的添加剂。在式中，P表示聚合性官能团；Sp表示间隔基团或单键；Z1和Z2各自表示‑CO‑O‑；R0表示具有1～15个碳原子的直链烷基；R2、R3和R4各自独立地表示具有1～4个碳原子的烷基、具有1～4个碳原子的烷氧基、具有2～5个碳原子的烷氧基羰基、具有2～5个碳原子的酰氧基、具有2～4个碳原子的酰基、具有2～5个碳原子的酰胺基、氰基、氨基、羟基或卤素原子；r1、r2和r3表示0～4的整数，当r1、r2和r3各自为2以上时，则各R2部分、各R3部分和各R4部分能够分别相同或不同。在此情况中，当R0是甲基时，则r2不是1。
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公开(公告)号：CN103702971B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201280036066.5
申请日：2012-07-03
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： C07C69/94 , C09K19/54 , G02F1/13363
CPC分类号： C09K19/54 , C07C69/92 , C09K19/2007 , C09K19/322 , C09K19/3475 , C09K19/588 , C09K2019/0429 , C09K2019/044 , C09K2019/2078
摘要： 下式(1)表示的化合物具有足够的溶解性、广泛可用的浓度范围和优异的雾度降低性能。在该式中，L1～L6表示单键、-O-、-CO-、-COO-等；Sp1～Sp4表示单键或1～10个碳原子的亚烷基；A1和A2表示三价或四价芳香族烃基或杂环基；T表示下式等；Hb表示2～30个碳原子的全氟烷基；m和n为2或3；o和p为0以上的整数。(Hb-Sp1-L1-Sp2-L2)m-A1-L3-T-L4-A2-(L5-Sp3-L6-Sp4-Hb)n (1)
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公开(公告)号：CN103781878A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280044094.1
申请日：2012-09-05
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： C09K19/20 , B32B7/02 , B32B7/10 , C09K3/00 , C09K19/32 , C09K19/38 , C09K19/54 , G02B5/26 , G02B5/30
CPC分类号： C09K19/56 , B32B17/10036 , B32B17/10293 , B32B17/10504 , B32B17/10761 , B60J3/04 , C09K19/2007 , C09K2019/0448 , C09K2019/2078 , G02B5/208 , G02F2201/343 , B32B17/10 , B32B2367/00
摘要： 本发明涉及一种胆甾型液晶混合物，其包含由通式(Ia)表示的化合物、由通式(Ib)表示的化合物、含氟水平取向剂和聚合引发剂，能够形成抑制液晶化合物析出的膜，所述膜的混浊度得到改进且具有较宽的反射宽度。通式(Ia)：Z1-Y1-A1-Y3-M1-Y4-A2-Y2-Z2；通式(Ib)：Z3-Y5-A3-Y7-M2-P；(Z1、Z2和Z3表示聚合性基团；A1～A3表示键接链长为1～30个原子的间隔基(其中该间隔基表示亚烷基、或包含经由-O-或-CO-键接的多个亚烷基的连接基团)；M1和M2表示(-T1-Y8)n-T2-；n表示自然数；当n为2以上时，多个-T1-Y8可以相同或不同；T1和T2是饱和或不饱和烃环、或者饱和或不饱和杂环，其中，该烃环或杂环可以可选地具有取代基；Y1、Y2、Y3、Y4、Y5、Y7和Y8各自表示单键、-O-、-CO-、-O-CO-、-CO-O-或-O-CO-O-；P表示氢原子或具有1～15个碳原子的烷基)。
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