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公开(公告)号：CN105592942A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480054928.6
申请日：2014-09-08
申请人： 富士胶片戴麦提克斯公司
CPC分类号： B06B1/0622 , H01L41/0825 , H01L41/098
摘要： 描述可切换微机加工换能器阵列，其中一个或多个开关或继电器与压电微机加工换能器阵列(pMUT)中的换能器元件整体地集成。在实施例中，MEMS开关与换能器阵列被实施在相同的基板上以便切换换能器阵列的操作模式。在实施例中，多个换能器在第一时间段期间在第一操作模式(例如，驱动模式)中通过一个或多个MEMS开关并联地互连，并且然后在第二时间段期间在第二操作模式(例如，感测模式)中通过一个或多个MEMS开关与该换能器的至少一些换能器串联地互连。
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公开(公告)号：CN106465020A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580025439.2
申请日：2015-05-27
申请人： 富士胶片戴麦提克斯公司
IPC分类号： H04R17/00 , H01L41/107 , G01S11/14
摘要： 在实施方式中，贴片设备包括多个压电换能器元件和邻接及支撑所述多个压电换能器元件的基底。所述基底包括编程以根据预编程的序列连续配置贴片的操作模式的集成电路，该集成电路连续选择所述压电换能器元件的相应子集来激活。所述集成电路包括用于选择性激活这种子集的脉冲逻辑和用于传达这种激活导致的贴片感测信号的解复用逻辑。在另一实施方式中，解复用逻辑是贴片的第一电压域的一部分，并且脉冲逻辑是贴片的第二电压域的一部分。基底可以包括用于保护解复用逻辑免受所述第二电压域的相对高电压电平的影响。
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公开(公告)号：CN104981916B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201480007984.4
申请日：2014-01-30
申请人： 富士胶片戴麦提克斯公司
IPC分类号： H01L41/113
摘要： 实施方式通过将衬底接地来降低微机械超声转换器(MUT)阵列之间的电容性串音，该阵列在该衬底上被制造。在实施方式中，金属半导体接触件被形成为衬底的半导体设备层并耦合到转换器元件的第一电极的公共接地面，以抑制连接到转换器元件的第二电极的信号线的电容性耦合。
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公开(公告)号：CN105592942B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201480054928.6
申请日：2014-09-08
申请人： 富士胶片戴麦提克斯公司
CPC分类号： B06B1/0622 , H01L41/0825 , H01L41/098
摘要： 描述可切换微机加工换能器阵列，其中一个或多个开关或继电器与压电微机加工换能器阵列(pMUT)中的换能器元件整体地集成。在实施例中，MEMS开关与换能器阵列被实施在相同的基板上以便切换换能器阵列的操作模式。在实施例中，多个换能器在第一时间段期间在第一操作模式(例如，驱动模式)中通过一个或多个MEMS开关并联地互连，并且然后在第二时间段期间在第二操作模式(例如，感测模式)中通过一个或多个MEMS开关与该换能器的至少一些换能器串联地互连。
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公开(公告)号：CN106465020B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201580025439.2
申请日：2015-05-27
申请人： 富士胶片戴麦提克斯公司
IPC分类号： H04R17/00 , H01L41/107 , G01S11/14
摘要： 在实施方式中，贴片设备包括多个压电换能器元件和邻接及支撑所述多个压电换能器元件的基底。所述基底包括编程以根据预编程的序列连续配置贴片的操作模式的集成电路，该集成电路连续选择所述压电换能器元件的相应子集来激活。所述集成电路包括用于选择性激活这种子集的脉冲逻辑和用于传达这种激活导致的贴片感测信号的解复用逻辑。在另一实施方式中，解复用逻辑是贴片的第一电压域的一部分，并且脉冲逻辑是贴片的第二电压域的一部分。基底可以包括用于保护解复用逻辑免受所述第二电压域的相对高电压电平的影响。
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公开(公告)号：CN104981916A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201480007984.4
申请日：2014-01-30
申请人： 富士胶片戴麦提克斯公司
IPC分类号： H01L41/113
CPC分类号： B25J15/12 , B06B1/0292 , B06B1/0622 , B25J9/104 , B25J15/0009 , H01L27/20 , H01L41/098 , Y10S901/29
摘要： 实施方式通过将衬底接地来降低微机械超声转换器(MUT)阵列之间的电容性串音，该阵列在该衬底上被制造。在实施方式中，金属半导体接触件被形成为衬底的半导体设备层并耦合到转换器元件的第一电极的公共接地面，以抑制连接到转换器元件的第二电极的信号线的电容性耦合。
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