公开(公告)号：CN106163741A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017776.7

申请日：2015-03-17

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 丝山光纪 ,  高桥大介

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  C08G18/00 ,  C08G18/10 ,  H01L21/304 ,  C08G101/00

Abstract: 本发明提供一种能够对被研磨物赋予高平坦性、且也能够抑制划痕的产生的研磨垫以及其制造方法。研磨垫在表面具有包含独立气泡和连续气泡的发泡聚氨酯片，所述发泡聚氨酯片以满足以下要件(1)～(3)的方式构成：(1)连续气泡率，即将独立气泡和连续气泡的合计体积设为100体积％时的连续气泡的体积比例为20～80体积％，(2)吸水状态下的损耗系数tanδ与干燥状态下的损耗系数tanδ的比[tanδ(湿/干)比]依照JIS K7244‑4以初期载荷20g、测定频率1Hz、温度26℃、拉伸模式、变形范围0.01～0.1％进行测定时为1.3～1.7，以及(3)肖氏DO硬度依照ASTM D2240测定时为60～80。

公开(公告)号：CN106163741B

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201580017776.7

申请日：2015-03-17

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 丝山光纪 ,  高桥大介

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  C08G18/00 ,  C08G18/10 ,  H01L21/304 ,  C08G101/00

Abstract: 本发明提供一种能够对被研磨物赋予高平坦性、且也能够抑制划痕的产生的研磨垫以及其制造方法。研磨垫在表面具有包含独立气泡和连续气泡的发泡聚氨酯片，所述发泡聚氨酯片以满足以下要件(1)～(3)的方式构成：(1)连续气泡率，即将独立气泡和连续气泡的合计体积设为100体积％时的连续气泡的体积比例为20～80体积％，(2)吸水状态下的损耗系数tanδ与干燥状态下的损耗系数tanδ的比[tanδ(湿/干)比]依照JIS K7244‑4以初期载荷20g、测定频率1Hz、温度26℃、拉伸模式、变形范围0.01～0.1％进行测定时为1.3～1.7，以及(3)肖氏DO硬度依照ASTM D2240测定时为60～80。