公开(公告)号：CN105424260B

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201510471543.6

申请日：2015-08-04

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 佐藤荣亮 ,  篠田茂 ,  芦野仁泰

IPC: G01L9/00 ,  G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种能够降低成本的压力传感器装置和压力传感器装置的制造方法。以使隔膜与贯通孔对准的方式接合基座部件和压力传感器芯片。以使金属管部件和基座部件的贯通孔相连的方式配置并接合金属管部件和基座部件。金属管部件具有凸部和阶梯部，凸部比阶梯部更靠近基座部件侧，阶梯部的沿贯通孔的直径方向的端部相对于凸部向外突出。金属管部件的凸部的壁厚度比金属管部件的阶梯部的厚度小。在金属管部件从凸部的在阶梯部侧的部分至阶梯部的在与压力导入口相反侧的面抵接到树脂壳体，并且阶梯部的端部的至少在压力导入口侧的角部被树脂壳体覆盖的状态下，金属管部件与树脂壳体一体成型。

公开(公告)号：CN105424260A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510471543.6

申请日：2015-08-04

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 佐藤荣亮 ,  篠田茂 ,  芦野仁泰

IPC: G01L9/00 ,  G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种能够降低成本的压力传感器装置和压力传感器装置的制造方法。以使隔膜与贯通孔对准的方式接合基座部件和压力传感器芯片。以使金属管部件和基座部件的贯通孔相连的方式配置并接合金属管部件和基座部件。金属管部件具有凸部和阶梯部，凸部比阶梯部更靠近基座部件侧，阶梯部的沿贯通孔的直径方向的端部相对于凸部向外突出。金属管部件的凸部的壁厚度比金属管部件的阶梯部的厚度小。在金属管部件从凸部的在阶梯部侧的部分至阶梯部的在与压力导入口相反侧的面抵接到树脂壳体，并且阶梯部的端部的至少在压力导入口侧的角部被树脂壳体覆盖的状态下，金属管部件与树脂壳体一体成型。