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公开(公告)号:CN101277563A
公开(公告)日:2008-10-01
申请号:CN200810081760.4
申请日:2008-03-06
Applicant: 富士电机控股株式会社
Inventor: 荻野慎次
IPC: H05B33/10
CPC classification number: H01L51/448 , H01L51/5036 , H01L51/524 , H01L51/5256 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的目的是提供一种制造有机EL器件的方法,作为钝化层极好的透明性的结果,该方法可通过该有机EL器件实现极好的颜色再现性。在制造设置有钝化层的有机EL器件中通过CVD法形成钝化层期间,在保持气体组成比不变的情况下调节气体压力,以层叠其中内应力是压应力的层和其中内应力是拉应力的层。