公开(公告)号：CN1624937A

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN200410081033.X

申请日：2004-09-30

Applicant: 富士电机控股株式会社

Inventor： 横山康弘

IPC: H01L31/18 ,  B32B31/00

CPC classification number: B32B37/1018

Abstract: 具有近似三角形横截面的抽气结构(12)设置在底板(11)的两个相对侧，并在抽气结构的内边缘提供了相对于底板固定距离的缝隙。在抽气结构(12)中，通过把抽气结构密封固定在底板(11)上，并把端板(13)密封固定在抽气结构(12)的末端，形成了一个抽气空间。在使用这样的真空层压装置(10)的层压处理中，通过抽气结构(12)的缝隙的抽气口，并通过形成在抽空气结构(12)中的抽气空间，对处理空间进行抽空，该处理空间是通过用覆盖薄片(14)覆盖底板(11)和抽气结构(12L)而形成。当在底板(11)的另外两个外侧区域设置引导器时，在真空层压处理中提高了覆盖薄片(14)的几何惯性矩，并因此克服了空气泄露。

公开(公告)号：CN1630104A

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN200410096284.5

申请日：2004-11-26

Applicant: 富士电机控股株式会社

Inventor： 横山康弘

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: B32B37/1018 ,  B32B2457/12

Abstract: 本发明涉及真空层压装置，在基底材料(11)的凹凸部(11a)上设置太阳能电池组件(未图示)，由盖部件(14)密闭处理空间，由框体(12)的排气口(12h)对处理空间内的气体排气，盖部件(14)将太阳能电池组件推压向基底材料(11)，促进脱气。此时基底材料(11)的凹凸部(11a)成为通气层，进一步促进太阳能电池组件的脱气。由此提供低成本、加热性能好的，用于制造太阳能电池组件的真空层压装置。