公开(公告)号：CN102090142A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200980106115.6

申请日：2009-09-29

Applicant: 富士电机控股株式会社

Inventor： 安达和哉

IPC: H05B33/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H05B33/04 ,  H01L51/5253

Abstract: 本发明提供一种有机EL器件，其包括：基板；形成在上述基板上的有机EL元件；和形成在上述有机EL元件之上的密封膜，其中，上述密封膜是含有H的氮化硅膜，上述含有H的氮化硅膜中的H含量为0.85～0.95at％。

公开(公告)号：CN102084716A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN200980125797.5

申请日：2009-04-06

Applicant: 富士电机控股株式会社

Inventor： 安达和哉

IPC: H05B33/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/5253 ,  H01L51/524 ,  H01L2251/5315

Abstract: 本发明的目的在于提供能够长期间维持优异的发光效率的有机EL元件，特别是顶部发射型有机EL器件，本发明的有机EL器件，包括基板和形成在基板上的有机EL元件，其特征在于：有机EL元件由下部电极、有机EL层、上部电极和保护层构成，保护层是SiON:H膜，通过红外吸收光谱测定所求出的拉伸方式的峰值面积比为：SiON:H膜中的N-H键与Si-N键的吸收面积比大于0.05小于等于0.07，并且Si-H键与Si-N键的吸收面积比小于等于0.15。

公开(公告)号：CN102077686A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200980125910.X

申请日：2009-06-29

Applicant: 富士电机控股株式会社

Inventor： 安达和哉

IPC: H05B33/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12

CPC classification number: H01L51/5256 ,  Y10T428/24975

Abstract: 本发明的目的是提供一种用于有机EL元件的密封膜，该密封膜由于不存在针孔而具有极佳的耐湿性。本发明的密封膜是用于有机EL元件的密封膜，该密封膜具有至少由三层构成的层状结构，其中氮化硅膜和氧氮化硅膜交替层叠，该密封膜的特征是从有机EL元件侧数起的奇数层是膜厚度(T1)等于或大于200纳米的氮化硅膜，从有机EL元件侧数起的偶数层是膜厚度(T2)等于或大于20纳米且等于或小于50纳米的氧氮化硅膜。