公开(公告)号：CN105579842A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201480040466.2

申请日：2014-05-16

Applicant: 密执安大学评议会

Inventor： Y.B.吉安钱达尼 ,  Y.秦

IPC: G01N30/32 ,  B01L3/00 ,  B81C1/00 ,  G01N30/60 ,  G01N30/88 ,  G01N30/08

CPC classification number: G01N30/6095 ,  B01L3/502707 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0887 ,  G01N30/08 ,  G01N30/32 ,  G01N30/88 ,  G01N2030/025 ,  G01N2030/085 ,  G01N2030/326 ,  G01N2030/328 ,  G01N2030/8881

Abstract: 本发明提出一种制造用于气相色谱仪的流体系统的方法。方法包括：用第一掩模在基材上微制造气相色谱仪的流体系统的一部分；用第二掩模微制造气相色谱仪的流体系统的一部分；并且用第三掩模微制造气相色谱仪的流体系统的一部分，使得第一掩模、第二掩模和第三掩模彼此不同，且微制造气相色谱仪的流体系统只用第一掩模、第二掩模和第三掩模完成。一种气相色谱仪，其中微制造的Knudsen泵布置以第一方向操作，以将载气吸入预浓缩器，并以第二方向操作，以将气体吸出预浓缩器。