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公开(公告)号：CN1271474A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：CN98808039.7
申请日：1998-05-29
Applicant: 密执安大学评议会
Inventor： C·T·-C·恩古吟 , 王琨
IPC: H03H3/013
CPC classification number: H03H9/02401
Abstract: 能被用于微调谐振频率并提高机械的微型结构,尤其是微机械结构,如微机械谐振器品质因数的适合成批制作、制作后退火的方法和系统被描述。该技术包含驱动电流通过微机械结构,或通过靠近的微型结构(例如靠近的电阻器),由此耗散功率并使结构加热到足够高的温度以改变其微观结构和/或其材料性能,这随后导致微型结构的谐振频率及品质因数的改变。对微机械结构,这种技术特别有效,因为它使许多微型结构能一起被方便、同时地微调,并且能通过跨越微机械结构的支撑点单纯施加一电压被实施。
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