公开(公告)号：CN1988948A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200580024531.3

申请日：2005-07-19

申请人： 安格斯公司

发明人： 小丹尼尔·阿尔瓦雷斯 ,  特洛伊·B.·斯科金斯 ,  湛·端·阮 ,  大屋敷靖

IPC分类号： B01D53/02 ,  C01B3/56 ,  C01B6/34 ,  C01B25/06 ,  C01B33/04 ,  C01B35/02

CPC分类号： C01B21/0411 ,  B01D53/02 ,  B01D2253/10 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/106 ,  B01D2253/108 ,  B01D2257/60 ,  B01D2258/0216 ,  C01B3/56 ,  C01B6/34 ,  C01B7/0718 ,  C01B7/0743 ,  C01B7/093 ,  C01B7/096 ,  C01B7/197 ,  C01B7/20 ,  C01B13/00 ,  C01B13/0244 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/0057 ,  C01B23/0068 ,  C01B2203/042 ,  C01B2203/0465 ,  C01B2210/0031 ,  C01B2210/0034 ,  C01B2210/0043

摘要： 本发明是从超高纯度气体中除去金属化合物的方法和设备，其使用包含高表面积无机氧化物的净化材料从超高纯度气体中除去金属化合物，从而金属不沉积在敏感的器件上并且引起器件故障。

公开(公告)号：CN1826167A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200480021274.3

申请日：2004-07-21

申请人： 安格斯公司

发明人： 小丹尼尔·阿尔瓦拉兹 ,  杰弗里·J.·施皮格尔曼 ,  乔舒亚·T.·库克 ,  湛·端·阮 ,  丹尼尔·A.·列夫 ,  特洛伊·B.·斯科金斯

IPC分类号： B01D53/28 ,  B01D53/62 ,  B01D53/50 ,  B01D53/56 ,  C01B6/34 ,  C01B3/56 ,  C01C1/02 ,  C01B33/04 ,  C01B25/06

摘要： 本发明公开了一种纯化(purification)氢化物气体的方法，其使用至少具有一种镧系金属或镧系金属氧化物的材料。该方法使污染物降低至100ppb，优选10ppb，更优选1ppb。所述材料还包括过渡金属和过渡金属氧化物、稀土元素和其它金属氧化物。本发明还包括在本发明方法中使用的材料。

公开(公告)号：CN100493677C

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200480021274.3

申请日：2004-07-21

申请人： 安格斯公司

发明人： 小丹尼尔·阿尔瓦拉兹 ,  杰弗里·J.·施皮格尔曼 ,  乔舒亚·T.·库克 ,  湛·端·阮 ,  丹尼尔·A.·列夫 ,  特洛伊·B.·斯科金斯

IPC分类号： B01D53/28 ,  B01D53/62 ,  B01D53/50 ,  B01D53/56 ,  C01B6/34 ,  C01B3/56 ,  C01C1/02 ,  C01B33/04 ,  C01B25/06

摘要： 本发明公开了一种纯化(purification)氢化物气体的方法，其使用至少具有一种镧系金属或镧系金属氧化物的材料。该方法使污染物降低至100ppb，优选10ppb，更优选1ppb。所述材料还包括过渡金属和过渡金属氧化物、稀土元素和其它金属氧化物。本发明还包括在本发明方法中使用的材料。