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公开(公告)号：CN114174791B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202080055029.3
申请日：2020-08-07
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 威廉·K·里奇韦 , 艾伦·戴克 , 陈朋源 , 瑞贝卡·迪·里科·库尔扎瓦
Abstract: 为了测试光学系统的成像性能，测试目标位于光学系统的物平面，并被照射以产生像束。从像束中获取测试目标的一个或多个图像。根据获取的成像数据，计算测试目标内多个位置处的边缘扩展函数。从边缘扩展函数构建点扩展函数的模型。基于点扩展函数，计算对应于多个位置的多个成像性能值。成像性能值基于包围矩形能量、包围圆能量或斯特列尔比。
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