公开(公告)号：CN204346889U

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201520045775.0

申请日：2015-01-22

Applicant: 安徽理工大学

Inventor： 程韦 ,  滕艳华 ,  张泽华 ,  夏玲燕 ,  薛长国 ,  何培文 ,  陈兆权

IPC: G01N21/00 ,  G01B11/02

Abstract: 本实用新型提供一种基于反应池外倾角可调的平面镜反射的微悬臂梁传感装置，属于微系统设备中的微位移检测领域，其包括一用于发射倾斜光束的激光器、一显微摄像头、一透光装置、一光电位置敏感探测器、一数据采集卡和一计算机。本实用新型利用反应池外透光装置内倾角可调的平面镜将经微悬臂梁反射后的激光束再次进行反射，实现对微悬臂梁偏转微位移的放大，提升微悬臂梁传感器系统性能。

公开(公告)号：CN204421839U

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201520045812.8

申请日：2015-01-22

Applicant: 安徽理工大学

Inventor： 程韦 ,  滕艳华 ,  张泽华 ,  夏玲燕 ,  薛长国 ,  何培文 ,  陈兆权

IPC: G01B11/02 ,  G01N33/00

Abstract: 本实用新型提供一种基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，属于微系统设备中的微位移检测领域。其包括半导体激光器、USB显微摄像头、半透半反镜、反应池、第一平面镜、第二平面镜、光电位置敏感探测器、模数转换器和一计算机。本实用新型采取半透半反镜使激光束可以准确的照射到微悬臂梁尖端上；利用在反应池内的多块平面镜将经微悬臂梁反射后的激光束再次进行反射，改变激光束路径，缩小装置体积；同时减少外围因素对微悬臂梁系统性能的影响，实现精确度更高的检测。