罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法

    公开(公告)号:CN114526233B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202210203030.7

    申请日:2022-03-02

    Abstract: 本发明涉及罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法,包括主动转子组合、从动转子组合与泵体组合,主动转子组合包括中部加工有主动螺杆转子体的主动转子轴和套装在主动前端轴的主动罗茨转子体;从动转子组合包括中部加工有从动螺杆转子体的从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体;泵体组合包括依次相互密封连接的前端板、罗茨泵体、中隔板、螺杆泵体、后泵体和后端板;罗茨级设置了罗茨级溢流阀和溢流通道,中隔板设置了返流阀和返流通道,螺杆级设置进气阀板、泄流阀、泄流通道和带有清渣口的存渣室。本发明在实际应用中能够替代常规罗茨‑螺杆真空机组,具有高效节能、耐粉尘污染、结构简单、成本低廉、运行方便特点。

    一种用于镁热法制海绵钛蒸馏工艺的终点判断装置与方法

    公开(公告)号:CN114438345B

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202210110079.8

    申请日:2022-01-29

    Abstract: 本发明提供一种用于镁热法制海绵钛蒸馏工艺的终点判断装置与方法,所述装置包括壳体,所述壳体通过连接法兰安装于镁热法制海绵钛设备蒸馏炉与冷凝炉之间蒸汽管路管壁上或冷凝炉外壁上,所述连接法兰与壳体间设有阀门,所述阀门用于控制壳体内腔与蒸汽管路的连通或隔离,所述壳体内腔中设有连接测量仪表的测量探头,所述测量探头上装有石英晶振片,所述测量仪表用于测量石英晶振片的共振频率/共振频率时间变化率/石英晶振片沉积膜厚度。本发明通过捕获管路中镁和氯化镁杂质蒸气并使其冷凝在测量探头的石英晶振片上,测量石英晶振片频率或杂质沉积量的变化直接表征管路中镁和氯化镁杂质的含量,来反映蒸馏工艺阶段的进展程度,从而实现终点判断。

    一种用于镁热法制海绵钛蒸馏工艺的终点判断装置与方法

    公开(公告)号:CN114438345A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202210110079.8

    申请日:2022-01-29

    Abstract: 本发明提供一种用于镁热法制海绵钛蒸馏工艺的终点判断装置与方法,所述装置包括壳体,所述壳体通过连接法兰安装于镁热法制海绵钛设备蒸馏炉与冷凝炉之间蒸汽管路管壁上或冷凝炉外壁上,所述连接法兰与壳体间设有阀门,所述阀门用于控制壳体内腔与蒸汽管路的连通或隔离,所述壳体内腔中设有连接测量仪表的测量探头,所述测量探头上装有石英晶振片,所述测量仪表用于测量石英晶振片的共振频率/共振频率时间变化率/石英晶振片沉积膜厚度。本发明通过捕获管路中镁和氯化镁杂质蒸气并使其冷凝在测量探头的石英晶振片上,测量石英晶振片频率或杂质沉积量的变化直接表征管路中镁和氯化镁杂质的含量,来反映蒸馏工艺阶段的进展程度,从而实现终点判断。

    罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法

    公开(公告)号:CN114526233A

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN202210203030.7

    申请日:2022-03-02

    Abstract: 本发明涉及罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法,包括主动转子组合、从动转子组合与泵体组合,主动转子组合包括中部加工有主动螺杆转子体的主动转子轴和套装在主动前端轴的主动罗茨转子体;从动转子组合包括中部加工有从动螺杆转子体的从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体;泵体组合包括依次相互密封连接的前端板、罗茨泵体、中隔板、螺杆泵体、后泵体和后端板;罗茨级设置了罗茨级溢流阀和溢流通道,中隔板设置了返流阀和返流通道,螺杆级设置进气阀板、泄流阀、泄流通道和带有清渣口的存渣室。本发明在实际应用中能够替代常规罗茨‑螺杆真空机组,具有高效节能、耐粉尘污染、结构简单、成本低廉、运行方便特点。

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