公开(公告)号：CN114867180B

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202210561875.3

申请日：2022-05-23

Applicant: 安徽工业大学

Inventor： 陈兆权 ,  程涛 ,  陈思乐 ,  杨洁 ,  洪伶俐

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明公开了一种双通道大气压微波等离子体射流装置，属于大气压微波等离子体射流应用领域；其包括双通道同轴谐振器、脉冲调制微波电源和气路输入。双通道同轴谐振器由气体管道、大同轴腔和小同轴腔、SMA接口、腔体螺纹接口、空心同轴线组成。脉冲调制微波电源的微波能量由微波信号发生器产生，经功率放大器、定向耦合器传输至微波功率输出接口。气路输入包括气体储存瓶、减压阀、针阀和气体流量计，针阀和气体流量计可以控制工作气体的输入流量大小。本发明能够分离工作气体，实现等离子体射流中活性粒子的时空分布调节，并且产生的活性粒子密度大，可以有效地调节等离子体射流的温度，增大了微波等离子体射流的使用范围。

公开(公告)号：CN114867180A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210561875.3

申请日：2022-05-23

Applicant: 安徽工业大学

Inventor： 陈兆权 ,  程涛 ,  陈思乐 ,  杨洁 ,  洪伶俐

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明公开了一种双通道大气压微波等离子体射流装置，属于大气压微波等离子体射流应用领域；其包括双通道同轴谐振器、脉冲调制微波电源和气路输入。双通道同轴谐振器由气体管道、大同轴腔和小同轴腔、SMA接口、腔体螺纹接口、空心同轴线组成。脉冲调制微波电源的微波能量由微波信号发生器产生，经功率放大器、定向耦合器传输至微波功率输出接口。气路输入包括气体储存瓶、减压阀、针阀和气体流量计，针阀和气体流量计可以控制工作气体的输入流量大小。本发明能够分离工作气体，实现等离子体射流中活性粒子的时空分布调节，并且产生的活性粒子密度大，可以有效地调节等离子体射流的温度，增大了微波等离子体射流的使用范围。