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公开(公告)号：CN115537830A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211147758.9
申请日：2022-09-19
申请人： 安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要： 本发明涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板。本发明通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，使得open mask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。
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公开(公告)号：CN115537830B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202211147758.9
申请日：2022-09-19
申请人： 安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要： 本发明涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板。本发明通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，使得open mask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。
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公开(公告)号：CN117600162A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311624743.1
申请日：2023-11-30
申请人： 安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要： 本发明适用于薄膜清洗技术领域，提供了TaN演膜清洗装器，包括壳体、水槽和压辊，壳体的顶端固定有水槽，水槽内部的一侧设置有风干结构，水槽内部的两侧均安装有压辊，压辊的顶端设置有清理结构，清理结构包括移动板、固定架、导向杆、弹簧和刮板，固定架固定在水槽的内部，固定架底端的内部安装有弹簧。本发明提供了TaN演膜清洗装器，通过弹簧伸展推动刮板向下移动，使刮板刮除压辊表面附着的异物，通过导向杆使弹簧不易带动移动板摇动，由此实现了此装置的表面清理功能，便于去除压辊表面的附着物，使压辊的表面保持洁净，增强了此装置的功能性。
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公开(公告)号：CN217911924U
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202222295993.2
申请日：2022-08-31
申请人： 安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，涉及到掩膜版Open Mask部件清洗技术领域，包括清洗桶以及安装于所述清洗桶排料管上的阀门，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元、与若干个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和同时带动若干个所述顶起单元上下运动的驱动单元。本实用新型结构合理，设置放置单元、驱动单元和顶起单元，可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速上下运动，可使得掩膜版Open Mask部件外表面能够与清洗液全面接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗。
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公开(公告)号：CN218021675U
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202222295994.7
申请日：2022-08-31
申请人： 安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种OLED掩膜版Open Mask转运装置，涉及到掩膜版转运技术领域，包括小推车，所述小推车上安装有用于排列放置金属掩膜版的承载箱，还包括用于对所述承载箱进行支撑和缓冲减震的磁悬浮单元，所述磁悬浮单元包括固定连接在所述小推车上的若干个安装架和一端与所述承载箱外壁固定连接的安装杆，且每个所述安装架上均固定连接有轴承座，所述轴承座内安装有磁悬浮轴承，所述安装杆的另一端延伸至所述磁悬浮轴承的内腔，所述安装杆上固定套接有限制所述安装杆横向移动的限位板。本实用新型结构合理，通过磁悬浮轴承使得承载箱进行整体悬空设置，提高承载箱的碰撞缓冲效果，提高其稳定性，可有效防止掩膜版被磕坏。
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