公开(公告)号：CN103475183B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201310462132.1

申请日：2013-09-30

Applicant: 安徽大学

Inventor： 徐峰 ,  冯飞 ,  时金辉 ,  吕卫卫 ,  俞本立

IPC: H02K35/04 ,  H02S10/10 ,  H02K15/00

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的复合式微型能量采集器及其制作方法，其特征是以太阳能材料为材质、通过MEMS工艺制成振动薄膜，在振动薄膜的中心平面下方制作平面螺旋线圈，在振动薄膜的正下方、处在所述平面螺旋线圈的同轴位置上设置永磁体；用于支撑振动薄膜的振动薄膜硅片和用于支撑永磁体的永磁体硅片是通过MEMS工艺分别制作，再键合成一支撑座，支撑座是底部具有圆形通孔的开放腔，以振动薄膜和平面螺旋线圈输出采集的能量。本发明采用MEMS工艺，以太阳能材料制作振动薄膜，实现了振动能和太阳能复合式微型能量采集器，避免了单一能量采集器的使用限制。

公开(公告)号：CN102393450B

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201110220889.0

申请日：2011-08-03

Applicant: 安徽大学

Inventor： 徐峰 ,  俞本立 ,  曹志刚 ,  朱军 ,  吕卫卫 ,  冯飞 ,  武为江

IPC: G01N33/48

Abstract: 本发明公开了一种基于光纤的磁镊探针，其特征是：以表面具有磁芯层的光纤构成针芯，经光纤传输的光束可以从针芯的前端面射出；在针芯的外周由内向外依次设置内导热绝缘层、微螺旋线圈，外导热绝缘层和屏蔽层。本发明体积小、无须复杂散热结构、产生的磁场大小和方向可调、能灵活移动，实现对生物分子的俘获、操控以及光学操作的功能。

公开(公告)号：CN103475183A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201310462132.1

申请日：2013-09-30

Applicant: 安徽大学

Inventor： 徐峰 ,  冯飞 ,  时金辉 ,  吕卫卫 ,  俞本立

IPC: H02K35/04 ,  H02N6/00 ,  H02K15/00

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的复合式微型能量采集器及其制作方法，其特征是以太阳能材料为材质、通过MEMS工艺制成振动薄膜，在振动薄膜的中心平面下方制作平面螺旋线圈，在振动薄膜的正下方、处在所述平面螺旋线圈的同轴位置上设置永磁体；用于支撑振动薄膜的振动薄膜硅片和用于支撑永磁体的永磁体硅片是通过MEMS工艺分别制作，再键合成一支撑座，支撑座是底部具有圆形通孔的开放腔，以振动薄膜和平面螺旋线圈输出采集的能量。本发明采用MEMS工艺，以太阳能材料制作振动薄膜，实现了振动能和太阳能复合式微型能量采集器，避免了单一能量采集器的使用限制。

公开(公告)号：CN102393450A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110220889.0

申请日：2011-08-03

Applicant: 安徽大学

Inventor： 徐峰 ,  俞本立 ,  曹志刚 ,  朱军 ,  吕卫卫 ,  冯飞 ,  武为江

IPC: G01N33/48

Abstract: 本发明公开了一种基于光纤的磁镊探针，其特征是：以表面具有磁芯层的光纤构成针芯，经光纤传输的光束可以从针芯的前端面射出；在针芯的外周由内向外依次设置内导热绝缘层、微螺旋线圈，外导热绝缘层和屏蔽层。本发明体积小、无须复杂散热结构、产生的磁场大小和方向可调、能灵活移动，实现对生物分子的俘获、操控以及光学操作的功能。