Patent search ap:("安徽华东光电技术研究所有限公司") AND inv:"张丹" Page 1

1.

发明公开
基于谐振法的介电常数测量传感器审中-实审

公开(公告)号：CN115372716A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202211023099.8

申请日：2022-08-25

Applicant: 安徽华东光电技术研究所有限公司

Inventor： 张丹 , 赵亮 , 查放 , 叶明旭 , 吴昊 , 卢梦明 , 杭杰 , 凡磊 , 芮珍珍

IPC: G01R27/26

Abstract: 本发明揭示了一种基于谐振法的介电常数测量传感器，由金属贴片层、介质层和接地层共三层组成；金属贴片层包括一块方形金属贴片，使电场集中在互补方形螺旋谐振器区域；接地层蚀刻了一个CSSR，用于产生谐振；测量液态或粉末状MUT时，在CSSR上方加载一个方形容器；传感器谐振时，电场集中在谐振单元；基于谐振法的介电常数测量传感器可对固态、液态或粉末状MUT的介电常数进行测量，同时具有高灵敏度，可以检测出低至0.01的介电常数变化量，此外当MUT的厚度达到一定值时，本发明的测试结果几乎不受厚度影响。

Patent Agency Ranking