公开(公告)号：CN102853797B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201110180459.0

申请日：2011-06-30

Applicant: 安徽华东光电技术研究所

Inventor： 吴华夏 ,  刘劲松 ,  胡海城 ,  张晓瑞 ,  何畔 ,  赵传芳

IPC: G01B21/08

Abstract: 本发明涉及一种锥体膜厚测试装置，其包括测试基座以及固定在该测试基座上的探头固定座，该测试基座包括测试底板以及固定在该测试底板上的侧支板，该探头固定座包括套筒、固定环底座、以及固定卡套。该测试底板用于安置该待测锥体，该侧支板用于固定该固定环底座，该固定卡套固定在该固定环底座上，该固定卡套与该固定环底座用于配合固定该套筒，该套筒用于固定该膜厚测试仪探头以使该膜厚测试仪探头紧贴该待测锥体表面。所述锥体膜厚测试装置，避免了因移动膜厚测试仪探头而导致测试基准发生变化的情况发生，提高了测试精度。本发明还涉及一种该锥体膜厚测试装置的制作方法。

公开(公告)号：CN102853797A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201110180459.0

申请日：2011-06-30

Applicant: 安徽华东光电技术研究所

Inventor： 吴华夏 ,  刘劲松 ,  胡海城 ,  张晓瑞 ,  何畔 ,  赵传芳

IPC: G01B21/08

Abstract: 本发明涉及一种锥体膜厚测试装置，其包括测试基座以及固定在该测试基座上的探头固定座，该测试基座包括测试底板以及固定在该测试底板上的侧支板，该探头固定座包括套筒、固定环底座、以及固定卡套。该测试底板用于安置该待测锥体，该侧支板用于固定该固定环底座，该固定卡套固定在该固定环底座上，该固定卡套与该固定环底座用于配合固定该套筒，该套筒用于固定该膜厚测试仪探头以使该膜厚测试仪探头紧贴该待测锥体表面。所述锥体膜厚测试装置，避免了因移动膜厚测试仪探头而导致测试基准发生变化的情况发生，提高了测试精度。本发明还涉及一种该锥体膜厚测试装置的制作方法。