在线准直装置及系统
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117311008A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311128545.6

    申请日:2023-09-01

    Abstract: 本申请公开了一种在线准直装置及系统,属于光学仪器调整技术领域。所述在线准直装置用于准直光学反射腔体的腔镜,所述在线准直装置包括主取样镜结构和辅助装调结构,所述主取样镜结构间隔设置在所述光学反射腔体外,用于接收并半透半反准直光束;所述辅助装调结构设置在所述光学反射腔体内,用于接收透射后的准直光束并反射至所述腔镜上,以及接收从所述腔镜反射回的工作光束并反射至所述主取样镜结构上,进而辅助准直所述腔镜。通过以辅助装调结构为基准,并通过主取样镜结构上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜,从而能实现在真空环境下对腔镜快速且精确地准直。

    一种极紫外光源原位偏振检测装置

    公开(公告)号:CN115290191B

    公开(公告)日:2023-02-17

    申请号:CN202211219381.3

    申请日:2022-10-08

    Abstract: 本发明提供了一种极紫外光源原位偏振检测装置,包括偏振检测腔体、固定板、调节台、偏振测试机构和活动座,所述固定板、调节台和偏振测试机构均设置在偏振检测腔体内部,所述固定板安装在调节台上,所述偏振测试机构安装在固定板表面。本发明通过使用偏振检测腔体、固定板、调节台和偏振测试机构,能够让模拟光或极紫外光进入偏振检测真空腔体中,然后根据需要对固定板和调节台进行调节,从而调整偏振测试机构的工作状态,而偏振测试机构能够准确的测量偏振性质。本发明采用若干块反射镜的方式测量极紫外光偏振特性,其支持全波段,测量精度高,非单脉冲形式,适应性强。

    一种极紫外光源原位偏振检测装置

    公开(公告)号:CN115290191A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202211219381.3

    申请日:2022-10-08

    Abstract: 本发明提供了一种极紫外光源原位偏振检测装置,包括偏振检测腔体、固定板、调节台、偏振测试机构和活动座,所述固定板、调节台和偏振测试机构均设置在偏振检测腔体内部,所述固定板安装在调节台上,所述偏振测试机构安装在固定板表面。本发明通过使用偏振检测腔体、固定板、调节台和偏振测试机构,能够让模拟光或极紫外光进入偏振检测真空腔体中,然后根据需要对固定板和调节台进行调节,从而调整偏振测试机构的工作状态,而偏振测试机构能够准确的测量偏振性质。本发明采用若干块反射镜的方式测量极紫外光偏振特性,其支持全波段,测量精度高,非单脉冲形式,适应性强。

    在线准直方法
    4.
    发明公开
    在线准直方法 审中-实审

    公开(公告)号:CN117215081A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311128557.9

    申请日:2023-09-01

    Abstract: 本申请公开了一种在线准直方法,属于光学仪器调整技术领域。所述在线准直方法对光学反射腔体的腔镜进行在线准直,所述在线准直方法包括:根据准直光束,调整辅助装调结构,直至所述准直光束经所述辅助装调结构后反射至所述腔镜上;使所述辅助装调结构处于真空环境下;调整主取样镜结构,直至所述准直光束能经过所述主取样镜结构后透射至所述辅助装调结构上;根据工作光束,调整所述腔镜,直至所述主取样镜结构上的入射光斑和反射光斑一致。通过以辅助装调结构为基准,并通过主取样镜结构上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜,从而能实现在真空环境下对腔镜快速且精确地准直。

    准直系统及方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116859615A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202311123885.X

    申请日:2023-09-01

    Abstract: 本申请公开了一种准直系统及方法,属于光学仪器调整技术领域。所述准直系统包括基准装置和在线准直系统,所述基准装置用于搭建基准光轴;所述在线准直系统设置在所述基准光轴上,用于对光学反射腔体的腔镜进行在线准直,所述在线准直系统包括主取样镜结构和辅助装调结构,所述主取样镜结构间隔设置在所述光学反射腔体外,用于接收并半透半反准直光束;所述辅助装调结构设置在所述光学反射腔体内,用于接收透射后的准直光束并反射至所述腔镜,以及接收工作光束并反射至所述主取样镜结构上,进而辅助准直所述腔镜。通过以辅助装调结构为基准,并通过主取样镜结构上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜,从而能实现在真空环境下对腔镜快速且精确地准直。

    一种分光光度计系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115266650A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202211201453.1

    申请日:2022-09-30

    Abstract: 本发明提供一种分光光度计系统,属于激光技术领域,本发明的分光光度计系统包括:测试光源、激光调节器、指示光源、合束器和样品参数测试系统。其中,测试光源用于生成测试激光;激光调节器用于调节测试激光的输出功率和偏振方向;指示光源用于生成指示激光;合束器用于引导测试激光和指示激光合束出射;样品参数测试系统位于合束器的出光侧,样品参数测试系统包括样品调节机构和激光功率探测器,样品调节机构用于调节待测样品透射测试激光的位置,激光功率探测器用于检测测试激光经过样品调节机构后的输出功率。本发明的分光光度计系统,能够生成具有不同偏振态和功率密度的测试激光,从而获得不同待测样品在实际工况下的光学参数。

    光栅调节装置
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221804365U

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202323663280.8

    申请日:2023-12-29

    Abstract: 本实用新型属于光谱仪器技术领域,特别涉及一种光栅调节装置,光栅基板上转动连接有光栅座,光栅座的周向设有若干光栅组件;设于光栅组件上的光栅处于工作位时,该光栅的扫描芯线与光栅基板的回转轴心重合,光栅座的回转轴心平行于光栅基板的回转轴心布置;动力源驱动光栅基板转动实现光栅的转动、驱动光栅座转动实现光栅的切换。本实用新型的结构紧凑,布置合理。光栅动作组件紧密布置在一处,具体应用时,将光栅调节装置的动作组件设于分光舱内,再通过管件与驱动组件、光源组件、成像组件等相连,就可以采用较小的真空腔室完成分光光路的布置,从而在提升光谱仪性能的同时,降低成本。

    辅助装调结构及光学反射腔体

    公开(公告)号:CN220692519U

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202322384603.3

    申请日:2023-09-01

    Abstract: 本申请公开了一种辅助装调结构及光学反射腔体,属于光学仪器调整技术领域。所述辅助装调结构用于辅助准直光学反射腔体的腔镜,所述辅助装调结构包括辅助反射镜组,所述辅助反射镜组在所述光学反射腔体内具有准直工位和通光工位,其中:所述辅助反射镜组在所述准直工位时,用于接收并反射分别来自所述光学反射腔体外的准直光束和所述腔镜的工作光束;所述辅助反射镜组在所述通光工位时,远离所述腔镜的入射光路和出射光路。通过辅助反射镜组在光学反射腔体内具有的准直工位,不仅能形成在真空环境下对腔镜准直的基准,提高腔镜的准直效率和准直精度,还能通过辅助反射镜组从准直工位切换至通光工位,从而保证腔镜准直完后光学反射腔体能正常使用。

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