一种等离子体炬装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116419464A

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202310680941.3

    申请日:2023-06-09

    Abstract: 本申请公开一种等离子体炬装置,涉及等离子体技术领域,能够解决提高等离子体的装置尺寸较大的问题,可以提高等离子体装置的便携性。该等离子体炬装置包括:微波连接器,微波连接器与固态微波源连接,用于接收固态微波源产生的微波信号;阻抗匹配装置,阻抗匹配装置与微波连接器连接,用于对微波信号进行阻抗匹配处理,并得到第一微波信号;可调频的谐振腔,谐振腔与阻抗匹配装置连接,用于对第一微波信号进行调频和谐振处理,并得到第二微波信号;谐振腔上开设有充气口,充气口用于充入待电离气体;谐振腔还与放电端口连接,第二微波信号作用于待电离气体,并于放电端口产生等离子体炬。

    一种电子回旋共振放电装置及应用

    公开(公告)号:CN116390320A

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202310620304.7

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 本发明公开了一种电子回旋共振放电装置及应用,包括馈电波导、波导功率分配器、微波天线以及放电室,馈电波导与放电室的放电腔体垂直,通过波导功率分配器与微波天线连接;波导功率分配器选用Y形功率分配器,对称设置于微波天线上表面;椭圆形的微波天线设置于放电室顶部,阵列设置有多个缝隙;放电室侧壁上设置进气口,进气口用于向放电室通入工作气体;工作时,微波源产生的微波从馈电波导端口输入,经过功率分配器传输给微波天线,通过缝隙在放电室击穿所述工作气体并产生等离子体。该装置解决了现有技术中存在的结构复杂、操作不便、辐射不均匀以及体积受限的问题。

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