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公开(公告)号：CN111811209B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202010714897.X
申请日：2020-07-23
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
Inventor： 孙庆国 , 苏玉磊 , 刘占卿 , 邱一男 , 何超峰 , 王振兴 , 刘岩云 , 胡俊豪 , 王天祥 , 张华标 , 高旭 , 陈虹 , 叶海峰 , 周家屹 , 雷刚 , 张晓萍 , 江延明 , 邱小林 , 陈强
Abstract: 本发明公开了一种氦液化系统，包括氦气气源、制冷机换热装置、低温存储装置、循环换热装置及循环驱动装置；所述氦气气源通过管道输入到制冷机换热装置内；所述制冷机换热装置内的出气端与低温存储装置的进气端连接；所述循环换热装置内设置有第一通道及第二通道；所述低温存储装置的出气端与循环换热装置内第一通道的进气端连通；所述循环换热装置内第一通道的出气端与循环驱动装置的进气端连通；所述循环驱动装置的出气端与循环换热装置内第二通道的进气端连通；所述循环换热装置内第二通道的出气端与制冷机换热装置的进气端连通；本发明，避免了冷量的流失以及气态氦气的泄露。
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公开(公告)号：CN111857200A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010804366.X
申请日：2020-08-11
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
IPC: G05D16/20
Abstract: 本发明提供一种超导试件测试时杜瓦内氦压控制系统及控制方法，杜瓦包括用以容纳液氦的内腔；内腔具有液氦气化区；控制系统包括压力传感器、控制器、第一泄压阀、第二泄压阀；压力传感器探测杜瓦内气化区氦压，第二泄压阀、第二泄压阀分别通过泄压管路与气化区连通；控制器根据压力传感器发送的压力信号控制第二泄压阀或第二泄压阀启闭；第一泄压阀的口径大于第二泄压阀的口径。本发明采用两种不同口径的泄压阀，并根据当前氦压值打开对应口径的泄压阀，当当前氦压较大时，打开大口径泄压阀，快速泄压，当氦压降到一定程度后，采用小口径泄压阀泄压，小口径泄压阀更利于控制泄压速度，便于控制氦压的精度。
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公开(公告)号：CN111811209A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010714897.X
申请日：2020-07-23
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
Inventor： 孙庆国 , 苏玉磊 , 刘占卿 , 邱一男 , 何超峰 , 王振兴 , 刘岩云 , 胡俊豪 , 王天祥 , 张华标 , 高旭 , 陈虹 , 叶海峰 , 周家屹 , 雷刚 , 张晓萍 , 江延明 , 邱小林 , 陈强
Abstract: 本发明公开了一种氦液化系统，包括氦气气源、制冷机换热装置、低温存储装置、循环换热装置及循环驱动装置；所述氦气气源通过管道输入到制冷机换热装置内；所述制冷机换热装置内的出气端与低温存储装置的进气端连接；所述循环换热装置内设置有第一通道及第二通道；所述低温存储装置的出气端与循环换热装置内第一通道的进气端连通；所述循环换热装置内第一通道的出气端与循环驱动装置的进气端连通；所述循环驱动装置的出气端与循环换热装置内第二通道的进气端连通；所述循环换热装置内第二通道的出气端与制冷机换热装置的进气端连通；本发明，避免了冷量的流失以及气态氦气的泄露。
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公开(公告)号：CN111857200B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010804366.X
申请日：2020-08-11
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
IPC: G05D16/20
Abstract: 本发明提供一种超导试件测试时杜瓦内氦压控制系统及控制方法，杜瓦包括用以容纳液氦的内腔；内腔具有液氦气化区；控制系统包括压力传感器、控制器、第一泄压阀、第二泄压阀；压力传感器探测杜瓦内气化区氦压，第二泄压阀、第二泄压阀分别通过泄压管路与气化区连通；控制器根据压力传感器发送的压力信号控制第二泄压阀或第二泄压阀启闭；第一泄压阀的口径大于第二泄压阀的口径。本发明采用两种不同口径的泄压阀，并根据当前氦压值打开对应口径的泄压阀，当当前氦压较大时，打开大口径泄压阀，快速泄压，当氦压降到一定程度后，采用小口径泄压阀泄压，小口径泄压阀更利于控制泄压速度，便于控制氦压的精度。
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公开(公告)号：CN115751757A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211273417.6
申请日：2022-10-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
Abstract: 本发明公开了一种以GM制冷机为冷源的三级低温泵装置，包括进气管路、第一吸附单元、第二吸附单元以及与第一吸附单元、第二吸附单元相连的气体抽送单元，所述进气管路与第一吸附单元相连，所述第一吸附单元、第二吸附单元均设有独立密闭的真空腔体及分别位于两个所述腔体内的GM制冷机，两个所述腔体结构之间通过管路连通。本发明中，通过将两个GM制冷机的设置，并单独放置在两个真空腔体内，并在两个真空腔体之间设置插板阀，通过一级冷板、二级冷板和三级冷板分别置于两个独立的真空腔体中，既可以实现对三级冷板对混合气体的独立吸附和分级解析，又能够缩小系统规模，降低系统建设成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN212906015U
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202021688286.4
申请日：2020-08-11
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
IPC: G05D16/20
Abstract: 本发明提供一种超导试件测试时杜瓦内氦压控制系统，杜瓦包括用以容纳液氦的内腔；内腔具有液氦气化区；控制系统包括压力传感器、控制器、第一泄压阀、第二泄压阀；压力传感器探测杜瓦内气化区氦压，第二泄压阀、第二泄压阀分别通过泄压管路与气化区连通；控制器根据压力传感器发送的压力信号控制第二泄压阀或第二泄压阀启闭；第一泄压阀的口径大于第二泄压阀的口径。本发明采用两种不同口径的泄压阀，并根据当前氦压值打开对应口径的泄压阀，当当前氦压较大时，打开大口径泄压阀，快速泄压，当氦压降到一定程度后，采用小口径泄压阀泄压，小口径泄压阀更利于控制泄压速度，便于控制氦压的精度。
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公开(公告)号：CN212902240U
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202021469361.8
申请日：2020-07-23
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
Inventor： 孙庆国 , 苏玉磊 , 刘占卿 , 邱一男 , 何超峰 , 王振兴 , 刘岩云 , 胡俊豪 , 王天祥 , 张华标 , 高旭 , 陈虹 , 叶海峰 , 周家屹 , 雷刚 , 张晓萍 , 江延明 , 邱小林 , 陈强
Abstract: 本实用新型公开了一种氦液化系统，包括氦气气源、制冷机换热装置、低温存储装置、循环换热装置及循环驱动装置；所述氦气气源通过管道输入到制冷机换热装置内；所述制冷机换热装置内的出气端与低温存储装置的进气端连接；所述循环换热装置内设置有第一通道及第二通道；所述低温存储装置的出气端与循环换热装置内第一通道的进气端连通；所述循环换热装置内第一通道的出气端与循环驱动装置的进气端连通；所述循环驱动装置的出气端与循环换热装置内第二通道的进气端连通；所述循环换热装置内第二通道的出气端与制冷机换热装置的进气端连通；本实用新型，避免了冷量的流失以及气态氦气的泄露。
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公开(公告)号：CN120008256A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510495033.6
申请日：2025-04-21
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种半导体用宽温区变温循环温控系统，采用回热闭式循环结构设计，将冷源单元和分配单元的主要管路分别放置在阀箱内，并对阀箱内部进行抽空使其形成真空环境，降低管路内部残余气体分子的对流换热，减少低温工质的漏热，保证氮气的回气低温温度，从而最大限度实现冷量回收和节能利用；在分配阀箱内设置节流阀，通过减压的方式有效将分配阀箱内的温度进一步降低，有效扩大了系统应用温区；同时，在冷源阀箱和分配阀箱内设置了三级预冷管路，在系统运行初期对冷源阀箱、分配阀箱和节流阀进行分级预冷，保证半导体生产过程中低温注入效率。
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公开(公告)号：CN115626613A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211273424.6
申请日：2022-10-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大流量氦气纯化装置及纯化方法，包括液氮杜瓦、换热单元、浸泡在液氮杜瓦的液氮中的吸附单元以及通有氦气的输入管路和输出管路、蛇管换热器，所述输入管路和输出管路与吸附单元连通，所述换热单元置于液氮杜瓦外侧。本发明中，通过将管路通径与流量相匹配、主换热器的结构设计可实现对大流量的氦气进行纯化，通过主换热器的设置可以对通有氦气的输入管路和输出管路进行换热，将输出的低温氦气与输入的高温氦气进行热交换，对输入管路的氦气进行预降温，降低了生产成本并提高了降温效率。
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公开(公告)号：CN120010601A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510495031.7
申请日：2025-04-21
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: G05D23/30
Abstract: 本发明公开了一种高安全性变温循环温控系统，采用回热闭式循环结构设计，将冷源单元和分配单元的主要管路分别放置在阀箱内，并对阀箱内部进行抽空使其形成真空环境，降低管路内部残余气体分子的对流换热，减少低温工质的漏热，从而减小管路温差；进一步地，系统配有独立的氮气补气装置和用于靶盘回温的氮气回路，实现系统内氮气工质自动调节，保证氮气工质在闭式系统中稳定循环，最大限度实现冷量回收和节能利用，从而通过多重连锁气路控制，保证系统高安全性运行。
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