公开(公告)号：CN119778926A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411754395.4

申请日：2024-12-02

Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司

Inventor： 王浩 ,  程祥 ,  涂晓旭 ,  邓家良 ,  武义锋

IPC: F25B45/00 ,  F04B37/14 ,  F04B37/08 ,  F25B49/02 ,  F17D1/065 ,  F17D3/01 ,  F17C13/00 ,  F17C13/04

Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及抽空置换系统，通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值，然后将高纯氮气充入待纯化氦气管路中升压至第二预设值；再次通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值；利用低温泵单元对待纯化氦气管路进行进一步抽空，使得氦气管路处于高真空状态；向氦气管路内通入高纯氦气，直至要求气压。采用低温泵单元，辅以干式抽空泵配合，大大提高极限真空度，通过对氦气管路进行反复充氮和抽空，实现抽空流洗，极大的节省氦气消耗，具有操作简便，生产效率高的效果。