公开(公告)号：CN100554903C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200510130142.0

申请日：2005-12-12

Applicant: 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司

Inventor： 斯托尔斯·T·霍恩 ,  马克·A·尤恩克里克 ,  威廉·R·托特纳 ,  约翰·D·拉森三世 ,  理查德·C·卢比 ,  格雷厄姆·M·夫劳尔 ,  安纳特斯·格洛特

IPC: G01L1/14 ,  H03H9/02 ,  H01L41/00

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01L1/165

Abstract: 本发明公开了用于测量目标环境变量(TEV)的装置和方法，其采用带有运动板的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器(FBAR)包括形成在FBAR晶片中的具有一个表面的声学反射器。第一电极形成在声学反射器的表面上并具有一个表面。压电层形成在第一电极的表面上并具有一个表面。第二电极形成在压电层的表面上。运动板被悬挂在相对于第二电极的表面预定距离的空中，并电容耦合到FBAR。