公开(公告)号：CN116623281A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310378617.6

申请日：2023-04-11

Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 ,  中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 江南 ,  邱梦婷 ,  袁其龙 ,  崔俊峰 ,  林正得

IPC: C30B23/02 ,  C30B31/20 ,  C30B29/38

Abstract: 本发明公开了一种单晶α‑Si3N4的制备方法，在真空条件下，利用电子束辐照镀有氮化硼薄膜的硅衬底制备而成。本发明还公开了由所述的制备方法制备得到的单晶α‑Si3N4，所述的单晶α‑Si3N4的形状为花朵状、松树状、蕨叶状或针状。针状的单晶α‑Si3N4在325nm的激发光下，在540nm与633nm处有发射峰，针状的单晶α‑Si3N4由镀有2～3μm厚氮化硼薄膜的硅衬底在78～85keV的辐照电压和18～25mA的辐照束流下辐照90～120s制备获得。本发明在不使用气体和催化剂的条件下制备了单晶α‑Si3N4，制备方法简单易行，原料易得，节能且对环境无污染，并且所得的针状单晶α‑Si3N4具有光致发光性能，在微纳光电子器件中有很好的应用前景。

公开(公告)号：CN116973186A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310769588.6

申请日：2023-06-28

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 张蕾 ,  柯培玲 ,  陈国新 ,  袁江淮 ,  崔俊峰 ,  段北晨 ,  卢焕明

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/20008

Abstract: 本发明公开了一种基于微米柱的透射电镜样品的制备方法，与现有技术相比，本发明利用沉积不同方向的保护层，对微米柱样品的上面及侧面进行有效保护，再利用聚焦离子束系统对微米柱及周边区域进行切割、转移、焊接、减薄，最终得到平整、均匀的高质量透射电镜样品。

公开(公告)号：CN118645415A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410355200.2

申请日：2024-03-27

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 张蕾 ,  柯培玲 ,  沈圣成 ,  陈国新 ,  崔俊峰 ,  段北晨

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  G01N1/28 ,  G01N23/04

Abstract: 本发明公开了一种样品转移装置及TEM样品的制备方法，涉及微纳加工领域，该装置包括控制模块、驱动模块、移动模块、转轴、样品台、夹具台及基础夹具，基础夹具设于转轴上用于固定rowbar夹具，rowbar夹具用于固定半分铜载网以使各铜柱沿轴心方向依次排布，驱动模块驱动转轴调节至初始0度位，移动模块将第一薄片沿竖直方向从原始样品上提取并将该第一薄片转移至处于初始0度位的半分铜载网处，驱动模块驱动转轴调节至使第二薄片的待加工面与芯片平行的90度位，移动模块将第二薄片转移至芯片上的指定位置以便焊接。该方案可靠地实现了样品平行焊接至芯片的指定位置，且根据实际需求同样可灵活适用于芯片与样品间多种角度焊接。

公开(公告)号：CN221977859U

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202420602433.3

申请日：2024-03-27

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 张蕾 ,  柯培玲 ,  沈圣成 ,  陈国新 ,  崔俊峰 ,  段北晨

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  G01N1/28 ,  G01N23/04

Abstract: 本实用新型公开了一种样品转移装置，涉及微纳加工领域，其包括控制模块、驱动模块、移动模块、转轴、样品台、夹具台及基础夹具，基础夹具设于转轴上用于固定rowbar夹具，rowbar夹具用于固定半分铜载网以使各铜柱沿轴心方向依次排布，驱动模块驱动转轴调节至初始0度位，移动模块将第一薄片沿竖直方向从原始样品上提取并将待加工面呈竖直方向的第一薄片转移至处于初始0度位的半分铜载网处，驱动模块驱动转轴调节至使第二薄片的待加工面与芯片平行的90度位，移动模块将第二薄片转移至芯片上的指定位置以便进一步焊接。该方案可靠地实现了样品平行焊接至芯片的指定位置，且根据实际需求同样可灵活适用于芯片与样品间多种角度焊接。