一种金属膜热镀覆装置及方法

    公开(公告)号:CN114990491B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202210453601.2

    申请日:2022-04-27

    摘要: 本发明公开了一种金属膜热镀覆装置和方法,其中公开的金属膜热镀覆装置,包括设有进气管和出气管的腔体,温控系统和用于控制真空度和气氛成分的气氛控制系统,所述腔体内可拆卸连接有若干个蒸镀室,所述温控系统控制各蒸镀室内的温度;所述蒸镀室包括室座,所述室座上设有用于放置蒸镀源的蒸镀源位,围绕所述蒸镀源位连续设有阻隔槽,所述阻隔槽上可拆卸连接有室盖,所述室盖内壁与室座形成样品室,所述样品室内的室座上设有用于放置待蒸镀样品的放置处;所述阻隔槽内放置有熔点低于蒸镀源工作温度的可熔融颗粒物。本发明还公开了金属膜热镀覆方法,采用前述的金属膜热镀覆装置对待蒸镀样品进行镀膜。