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公开(公告)号：CN118961049B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411447309.5
申请日：2024-10-16
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于电路测量的技术领域，公开了一种真空计电容传感器的测量电路，该测量电路包括：依次连接的二极管双T型交流电桥电路、多级放大电路、后置滤波电路和ADC采样电路；当被测腔体内的气体压力没有发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于平衡状态，二极管双T型交流电桥电路中无直流电信号产生；当被测腔体内的气体压力发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于不平衡状态，二极管双T型交流电桥电路根据气体压力变化量产生对应的直流电信号；通过测量电路中的二极管双T型交流电桥电路，对被测腔体内的气体压力变化量进行测量，提高了真空计电容传感器的测量电路的测量精度。
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公开(公告)号：CN118961049A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411447309.5
申请日：2024-10-16
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于电路测量的技术领域，公开了一种真空计电容传感器的测量电路，该测量电路包括：依次连接的二极管双T型交流电桥电路、多级放大电路、后置滤波电路和ADC采样电路；当被测腔体内的气体压力没有发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于平衡状态，二极管双T型交流电桥电路中无直流电信号产生；当被测腔体内的气体压力发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于不平衡状态，二极管双T型交流电桥电路根据气体压力变化量产生对应的直流电信号；通过测量电路中的二极管双T型交流电桥电路，对被测腔体内的气体压力变化量进行测量，提高了真空计电容传感器的测量电路的测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118377217A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410804206.3
申请日：2024-06-21
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本公开涉及气体压力控制技术领域，尤其提供一种蝶阀开度的控制方法、控制器、系统和存储介质，该方法包括：基于腔体内部的当前压力和预设压力，确定控制误差信号以及误差信号变化率；基于当前压力和预先确定的电机步数与实际压力的对应关系，确定当前压力对应的实际步数；基于实际步数以及电机步数与修正参数的对应关系确定目标修正参数；对控制误差信号以及误差信号变化率进行模糊处理，得到PID调整量；基于目标修正参数、PID调整量以及初始时刻PID参数，确定当前时刻的PID参数；基于当前时刻的PID参数以及PID控制算法计算蝶阀的控制信号，控制信号用于控制蝶阀的开度。可以提高气体压力的控制精度。
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公开(公告)号：CN119292045A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411822505.6
申请日：2024-12-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05B13/02
Abstract: 本发明提供了一种钟摆阀压力系统控制方法，涉及真空系统控制技术领域。该钟摆阀压力系统控制方法包括步骤：基于PSOBAS算法获得ADRC控制器的最优控制参数；将最优控制参数输入到ADRC控制器后，通过ADRC控制器获得钟摆阀的开度值；根据开度值控制钟摆阀。本发明的钟摆阀压力系统控制方法解决了现有控制方法无法很好地抑制系统的非线性影响，实现更高精度和更快速的气体压力调节。
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公开(公告)号：CN119084647A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411583998.2
申请日：2024-11-07
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种真空调节阀压力控制系统及其控制方法，涉及真空调节阀压力控制技术领域。该控制方法包括通过阀门转速模型获得指定转速后，根据指定转速控制真空调节阀的阀板转动到指定的角度位置；阀门转速模型基于PWM脉冲频率和Simoid函数建立。本发明的真空调节阀压力控制系统的控制方法解决了目前真空调节阀压力控制系统无法满足生产线所要求的响应速度和稳定性的问题，达到提高系统响应速度和稳定性的效果。
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公开(公告)号：CN118377217B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410804206.3
申请日：2024-06-21
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本公开涉及气体压力控制技术领域，尤其提供一种蝶阀开度的控制方法、控制器、系统和存储介质，该方法包括：基于腔体内部的当前压力和预设压力，确定控制误差信号以及误差信号变化率；基于当前压力和预先确定的电机步数与实际压力的对应关系，确定当前压力对应的实际步数；基于实际步数以及电机步数与修正参数的对应关系确定目标修正参数；对控制误差信号以及误差信号变化率进行模糊处理，得到PID调整量；基于目标修正参数、PID调整量以及初始时刻PID参数，确定当前时刻的PID参数；基于当前时刻的PID参数以及PID控制算法计算蝶阀的控制信号，控制信号用于控制蝶阀的开度。可以提高气体压力的控制精度。
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公开(公告)号：CN119292045B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411822505.6
申请日：2024-12-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05B13/02
Abstract: 本发明提供了一种钟摆阀压力系统控制方法，涉及真空系统控制技术领域。该钟摆阀压力系统控制方法包括步骤：基于PSOBAS算法获得ADRC控制器的最优控制参数；将最优控制参数输入到ADRC控制器后，通过ADRC控制器获得钟摆阀的开度值；根据开度值控制钟摆阀。本发明的钟摆阀压力系统控制方法解决了现有控制方法无法很好地抑制系统的非线性影响，实现更高精度和更快速的气体压力调节。
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